판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity M 85 TD #9254149

TEL/TOKYO ELECTRON Unity M 85 TD는 마이크로 전자 부품의 안정적이고 경제적인 생산을 제공하도록 설계된 에처/애셔입니다. 이 도구는 여러 구성 요소를 한 번에 처리할 수 있는 다중 챔버 (multi-chamber) 공정 장비입니다. 습식 또는 건식 공정을 수행하도록 설계되었으며, 고온 및/또는 선택적 에칭 (etching) 을 적용하는 기능을 포함합니다. 시스템은 제어판 (Control Panel) 이나 전면 패널 인터페이스 (Front Panel Interface) 를 사용하여 프로그래밍되며, 자동화된 작동을 위해 프로그래밍할 수 있는 몇 가지 안전 기능이 있습니다. TEL Unity M 85 TD는 메인 챔버와 2 개의 서브 챔버가있는 멀티 챔버 디자인을 갖추고 있습니다. "가스 '를 배열 하는 독특 한" 가스' 배열 장치 가 갖추어져 있어서 "오퍼레이터 '는 정확 한 양 의" 가스' 와 가공 된 각 공정 에 적합 한 종류 를 정확 하게 전달 할 수 있다. 이 기계는 또한 고급 진단 도구 (advanced diagnostics tools) 를 갖추고 있으며, 이 도구를 사용하여 작업자가 고장난 장비를 신속하게 해결할 수 있습니다. 또한 APCS (Automated Process Control Tool) 가 기본으로 제공되어 프로세스 매개변수 읽기를 지속적으로 모니터링하여 정확한 사양이 유지되도록 합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 의 다중 범위 전력 수준은 최대 25W이며, 다양한 정밀 작동이 가능합니다. 발열량 (Rapid Heating) 기능을 통해 처리 시간을 단축하고 통합 열 제어 (Thermal Control) 자산을 통해 일관성 있게 작동하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Unity M 85 TD는 다양한 특수 가스와 협력하여 광범위한 응용 프로그램을 보장하도록 설계되었습니다. Unity M 85 TD에는 운영자, 모델, 프로세스를 보호하는 여러 가지 표준 안전 기능이 있습니다. 모든 공수 입자는 내장 배기 장비로 제거되며, ESD (정전기 방전) 내성 물질은 잠재적 인 부상 또는 손상을 방지하기 위해 사용됩니다. 이 시스템은 또한 내장형 공기 필터 (air filter) 를 갖추고 있으며, 대기 질을 지속적으로 모니터링하고 그에 따라 프로세스를 조정합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Unity M 85 TD는 모든 생산 라인에 안정적이고 효율적인 추가 기능입니다. 이 제품은 처리량을 극대화하고 비용을 절감할 수 있도록 설계되었으며, 또한 가장 높은 품질의 완성된 제품을 보장합니다. 고급 안전 기능은 사고 예방 및 지속적인 생산 프로세스를 보장합니다. 이 etcher/asher는 반도체 장치, 디스플레이 및 박막 기술과 같은 정밀 응용 프로그램에 이상적입니다.