판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe #293642910

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe는 가장 정확한 응용 프로그램을 위해 설계된 정밀 에처 및 애셔입니다. 이 산업용 기계는 6 "기판 크기 기능, 통합 전자 빔 장치, 18" X 선 검출기 및 선택적 레이저 스크리버를 갖춘 12 "직경 FOUP 기판 홀더를 갖추고 있습니다. 또한 조정 가능한 속도와 컴퓨터 제어 프로세스를 갖춘 통합 턴테이블이 있습니다. TEL Unity IIe는 오늘날 시장에서 가장 발전된 에처 및 애셔 중 하나입니다. 복합 반도체 생산을위한 석영, 갈륨 비소, 게르마늄 웨이퍼, 고급 포장의 경우 저k 유전체, 박막 포토 마스크, 마이크로 일렉트로닉 작업을위한 박막 등 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Unity IIe 명령 집합은 인상적이며, 에칭 및 애싱 프로세스를 매우 정확하게 제어 할 수 있습니다. 전용 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능을 통해 각 프로세스를 독립적으로 제어하고 복잡하고 정교한 처리를 수행할 수 있습니다. 또한 Unity IIe에는 장비 작동 및 매개변수 설정을 위해 중앙 집중식 제어판이 장착되어 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe는 또한 기판 공급 및 처리 측면에서 유연성을 제공합니다. FOUP (Front Open Un-load/Load) 와 수동 로드 시스템을 조합하여 수동으로 로드된 기판과 자동화된 기판 사이를 전환할 수 있습니다. 또한, 시스템 메모리에 저장하고 자동 기판 스위칭 (automated substrate switching) 프로세스에 사용할 수있는 종합적인 처리 레시피 라이브러리가 있습니다. TEL Unity IIe의 추가 기능으로, 18 인치 센서 배열의 통합 X-ray 검출기가 있으며, 이를 통해 사용자는 에칭 및 애싱 프로세스 중 진행 상황을 모니터링 할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 처리 주기 동안 샘플 온도가 일정하게 유지되도록 온도 센서 (temperature sensor) 가 장착되어 있으므로 기판의 결함 또는 손상 가능성을 최소화합니다. TOKYO ELECTRON Unity IIe (TOKYO ELECTRON Unity IIe) 는 고급 프로세스 제어 머신으로, 사용자에게 가장 까다로운 요구 사항을 충족하는 에칭 및 애싱 도구를 제공합니다. 정교한 구성 요소와 직관적인 운영자 인터페이스 (operator interface) 의 조합으로 다양한 연구/운영 작업에 이상적인 툴이 됩니다.