판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD #9219713

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 85DD는 다양한 반도체 웨이퍼를 처리하도록 설계된 멀티 챔버 에처입니다. 이 장치는 독점적 인 85DD 챔버 공정으로 설계되었으며, 이는 빠르고 정확한 에칭 결과를 제공합니다. 장비는 2 개의 공정 챔버 (process chamber) 로 구성되며, 에칭 프로세스를 완료하기 위해 함께 작동합니다. 첫 번째 챔버는 습식 (wet) 및 건식 (dry etch) 과 같은 표준 에치 프로세스를 수행 할 수 있으며, 두 번째 챔버는 사전 청소 및 에칭 후 프로세스 전용입니다. 이 2 챔버 시스템은 설정을 수동으로 변경하지 않고도 다른 재료를 효율적이고 정확하게 에칭할 수 있습니다. TEL Unity IIe 85DD에는 다중 가스 전달 장치와 특허를받은 전기 공압 가스 스위칭 머신이 장착되어 있습니다. 이 도구를 사용하면 반응성 가스 (reactive gase) 와 비활성 가스 (inert gase) 의 흐름을 정확하게 제어하여 에칭 프로세스를 제어할 수 있습니다. 이 장치에는 PEPE 또는 Plasma Etching of Polymers and Energetics가 장착되어 있으며, 특히 폴리머 및 기타 민감한 재료를 처리하도록 설계되었습니다. PEPE 자산은 매우 짧은 레이저 에너지 펄스 (puls of laser energy) 를 사용하여 민감한 재료에 작은 기능을 생성하는 이중 헤드 레이저 배열입니다. TOKYO ELECTRON UNITY IIE 85 DD는 최고 수준의 안전 및 환경 보호를지지하기 위해 제작되었습니다. 이 장치의 격리 돔은 가공 중 생성 된 공기 입자가 챔버 밖에서 탈출하는 것을 방지합니다. 또한, 약실 에는 "가스 '의 압력 과 흐름 을 자동 으로 조정 하여 안전 한 작동 을 보장 하는 산소 모니터링" 모델' 이 갖추어져 있다. 다른 안전 기능으로는 자동 셔터 작동, 통합 소화 장비, 지상 결함 인터럽터 스위치 등이 있습니다. TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD (TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD) 의 직관적인 인터페이스를 통해 시스템 설정을 쉽고 빠르게 액세스할 수 있습니다. 이 장치의 통합 프로세스 소프트웨어 (Integrated Process Software) 외에도, 사용자는 스마트폰 또는 기타 무선 장치를 통해 원격으로 장치를 제어할 수도 있습니다. UNITY IIE 85 DD는 반도체 제조업체의 고급 에칭 요구에 적합한 최적화 및 다용도 에처입니다. 고급 기능, 통합 안전 시스템 (Integrated Safety System) 및 직관적인 사용자 인터페이스는이 장치를 모든 반도체 에칭 어플리케이션에 이상적인 선택으로 만듭니다.