판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD #293760242

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD는 에처/애셔로, 플라즈마 및 화학 공정을 사용하여 칩 및 회로와 같은 소규모 장치를 생산합니다. 이 장치 는 폭 이 370mm, 깊이 가 50mm, 높이 가 500mm 인 주 "챔버 '와" 실리콘 웨이퍼', "갈륨 비소 '," 사파이어' 등 에 새겨질 재료 를 담을 수 있는 몇 개 의 내부 "컨테이너 '로 되어 있다. 이 장치는 RS-232 통신을 통해 컴퓨터로 인터페이스 (interface) 되고 여러 작동 모드로 구조화되어 에칭 프로세스를 완전히 자동화합니다. TEL Unity IIe 85DD는 4 개의 각도 방향 제트기와 4 개의 동심 원통형 제트기를 갖춘 노즐을 갖춘 고급 에처 헤드 디자인을 갖추고 있습니다. "제트 '는 가공소재 에" 플라즈마' 나 화학 물질 을 짝수 로 전달 하여 매끈한 "에칭 '출력 을 가능 하게 한다. "에칭 '과정 은 약실 의" 가스' 와 60MHz "마이크로 '파 발전기 에 의해 생성 되는" 에너지' 공급 의 결합 으로 시작 된다. 이 "에너지 '는 전체 가공소재 에 대하여" 플라즈마' 의 균일 한 분포 를 만들어 내며, 그 결과 전도 전류 가 되어 작업 물질 이 분해 된다. 또한, 다양한 화학 물질을 플라즈마 에칭 공정과 결합하여 정확도를 높일 수 있습니다. TOKYO ELECTRON UNITY IIE 85 DD의 가장 독특한 기능은 완전 자동화 된 프로세스 제어 기능입니다. 폐쇄 루프 제어 장비를 사용하여 작동 매개변수 (예: 온도, 압력, 노출 시간, 플라즈마 전달 속도) 를 정확하게 조정합니다. 이는 정확한 에칭 결과를 보장하며, 잘못된 에칭 조건으로 인한 물질 손상 가능성을 최소화합니다. 또한, 시스템 내에 산소 (oxygen) 및 수분 센서의 존재는 사용 된 재료의 변이를위한 에칭 (etching) 조건을 자동으로 조정 할 수있다. 마지막으로 UNITY IIE 85 DD는 광범위한 안전 기능을 제공합니다. 방의 내부는 스테인레스 스틸 진공 인클로저 (stainless-steel vacuum enclosure) 로 제작되어 열 손상을 방지하고 장치 내 갑작스런 압력 변화로 인한 사고를 방지합니다. 이 장치에는 또한 머신 비전 머신 (machine vision machine) 과 여러 센서 기반 시스템이 장착되어 있어 프로세스를 지속적으로 모니터링하고 안정성을 보장합니다. 또한, 비상 종료 도구 (Emergency Shutdown Tool) 를 사용하면 예기치 않은 이벤트가 발생할 경우 에칭 프로세스를 신속하게 중단할 수 있습니다.