판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9292571

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS Etcher/Asher는 포토 마스크, 레티클 및 기타 패턴 된 표면을 에칭 및 세척하기위한 다재다능한 하드웨어 솔루션입니다. 이 시스템은 다단계 프로세스를 사용하여 광범위한 프로세스 (process) 에 걸쳐 온도, 가스 흐름, 전력 수준을 정확하게 제어합니다. TEL UNITYIIE-855 SS는 가수 분해 에칭 챔버, 진공 단계, 과산화수소 욕조 및 송풍실을 특징으로하며, 모두 원하는 대상 재료의 깨끗하고, 보다 균일 한 에치 또는 재시를 달성하는 데 사용됩니다. TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS (TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS) 는 단일 단위 내에서 포토 마스크 및 레티클의 빠르고 정확한 에칭 및 재싱을 허용하도록 설계되었습니다. 지능형 공정 제어 (Intelligent Process Control) 를 통해 웨이퍼 열 예산 및 온도 유출을 제한 할 수 있습니다. 또한, 시스템은 패턴 된 표면의 모든 지점에서 균일 한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 조건이 유지되도록 고감도 온도 센서를 갖추고 있습니다. 이로 인해 정확도가 높아지고 수율이 높아집니다. UNITY IIE 855 SS의 가수 분해 에칭 챔버에는 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램에서 일관되고 반복 가능한 결과를 제공하는 고급 VCA (Voltage Controlled Activation) 프로세스가 장착되어 있습니다. 여기에는 얇은 레이어 (예: 포토 마스크 및 레티클 처리에 사용되는 레이어) 를 에칭, 코팅 및 제거하는 것이 포함됩니다. 이 챔버에는 기판을 효율적으로 적재 및 언로드하고 스루핑 (through-put) 및 신뢰성을 높이기위한 강력한 로드 잠금 시스템도 포함되어 있습니다. TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS에는 에칭 및 애싱 프로세스를 증폭, 향상 및 확장하는 데 사용되는 과산화수소 목욕이 장착되어 있습니다. 이 과산화물 목욕 은 또한 오염 물질 을 제거 할 수 있으며, 그 과정 에 정밀도 를 더해 준다. 목욕은 표면의 모든 부분에 걸쳐 균일 한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 조건을 유지하도록 온도가 조절됩니다. 마지막으로, TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E 855SS는 에치 또는 애싱 물질을 대피시키고 건조시켜 더 깨끗하고 더 균일 한 에칭 또는 재시 된 결과를 초래하는 송풍실을 포함합니다. 블로우 드리 챔버 (blowdry chamber) 에는 가변 속도 팬이 장착되어 건조 효율과 정확성이 향상되었습니다. 이러한 효율적인 건조 절차는 잠재적으로 비용이 많이 드는 오류의 위험을 최소화하고, 제품 수율을 극대화합니다. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS는 포토 마스크, 레티클 및 기타 패턴 표면에 이상적인 에처 및 애셔입니다. 다용도, 신뢰성, 정밀성으로 인해 전자 제품 제조 설비에 필수적인 솔루션으로 자리잡아 생산성 (productivity) 과 제품 품질 (quality) 을 모두 높일 수 있습니다.