판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9236831

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SS는 기판 청소 공정의 정확성과 정확성을 단순화하고 향상시키기 위해 설계된 정교한 etcher/asher입니다. 이 장비는 고온 환경에서 고압, 휘발성 화학 물질 (Volatile Chemistry) 을 사용하여 기질에서 오염 물질을 효율적이고 빠르게 제거하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 사용자 친화적 인 터치 스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 와 정확한 에치 (etch) 또는 애쉬 (ash) 를 원하는 유연한 동작 장치가 있습니다. TEL UNITYIIE-855 SS는 최대 1000 ° C의 온도와 최대 300 와트의 전력을 사용하여 작동하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 16면 게이트와 특허 반사 라이너로 둘러싸인 506 x 506 mm 처리 챔버가 있습니다. 이렇게 하면 전체 기판에 걸쳐 프로세스 환경의 균일성을 유지하고 핫스팟 (hotspot) 의 위험이나 에칭 (etching) 프로세스에 영향을 미치는 고르지 않은 가열 (heating) 을 최소화할 수 있습니다. 냉각된 미디어 전달 튜브 (cooled media delivery tube) 는 프로세스 중에 기판에 정확하고 일관된 미디어 스트림을 제공하는 데 사용됩니다. 이 기계에는 연동 액세스 패널, 자동 안전 종료 (automatic safety shutdown), 긴급 정지 (emergency stop) 버튼 등 다양한 안전 기능도 포함되어 있습니다. 이 도구에는 전원 모니터 (Power Monitor) 도 포함되어 있으며, 전원 소비량을 측정하여 장치가 과부하되지 않도록 합니다. 또한 TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS (TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS) 에는 내장된 자동 진단 기능이 포함되어 있어 프로세스 중 언제든지 자산 성능을 확인할 수 있습니다. 이렇게 하면 모델이 최고 성능으로 실행되고 있는지 확인할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON UNITY II E 855SS는 프로파일 튜닝, 기판 추적, 압력 및 온도 조정, 라이브 챔버 이미징을 사용하여 고급 프로세스 제어를 지원합니다. 또한, 장비는 다른 도구와 함께 사용하여보다 복잡한 기판 처리를 지원할 수 있습니다. 여기에는 정밀도 및 복잡성 증가로 멀티 스테이지 에치 (etch) 또는 애쉬 (ash) 프로세스를 실행할 수 있습니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS는 정확하고, 안정적이며, 효율적인 기판 처리 시스템을 제공하며, 각 개별 응용 프로그램의 요구에 맞게 맞춤 조정할 수 있습니다. 이 장치는 고급 안전 (Advanced Safety) 기능과 모니터링 기능을 통해 사용 및 유지 관리가 용이하도록 설계되었으며, 모두 에칭 (Etching) 또는 애싱 (Ashing) 프로세스를 안전하고 정확하게 제어할 수 있습니다. UNITY IIE-855SS (UNITY IIE-855SS) 는 소규모에서 대규모의 기판까지 다양한 에칭 및 애싱 어플리케이션을 위한 이상적인 선택입니다.