판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9042735
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TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS etcher/asher는 다양한 유전체, 결합 패드 및 절연 필름 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고급 에칭/애싱 (etching/ashing) 기술을 사용하기 쉬운 작업과 결합하여 최소한의 유지 보수를 통해 일관된 결과를 제공합니다. TEL UNITYIIE-855 SS etcher/asher는 효율성과 공간 절감을 극대화하는 고급 단일 챔버 설계를 갖추고 있습니다. 즉, 통합 가스 유통 장비 (gas distribution equipment) 를 통해 작업 시 가장 적합한 프로세스 흐름 속도를 선택할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 온화 된 샤워 설계를 가지고 있으며, 여러 층의 필터를 통합하여 챔버를 순환하는 입자와 가스의 수를 줄입니다. 또한, 이 시스템은 쉽게 액세스할 수 있는 단일 롤인 (roll-in) 오븐을 갖추고 있어 빠른 로드 및 언로드가 가능합니다. TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS etcher/asher는 최적의 결과를 위해 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다. 디지털 프로세스 레시피는 최대 48 개의 프로그램 가능한 단계를 저장할 수 있으며, 이를 통해 여러 프로세스 변수를 효율적으로 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 프로세스 모니터링 머신도 포함되어 있으며, 설정이 범위를 벗어나는 경우 자동 데이터 수정 (automatic data correction) 이 있습니다. 또한 UNITY II E855SS etcher/asher에는 프로세스를 지속적으로 모니터링하고 작동 중에 필요한 조정을하는 SPC (Statistical Process Control) 솔루션이 포함되어 있습니다. 안전성 측면에서 TEL UNITY IIE 855 SS etcher/asher는 유해 물질에 대한 노출을 줄이고 교차 오염 위험을 줄이기 위해 신뢰할 수있는 보호 도구를 제공합니다. 입자 농도를 줄이기 위해 HEPA 필터 공기 흐름 에셋 (airflow asset) 이 장착되어 있으며, 잠재적 위험을 모니터링하고 필요한 경우 자동으로 종료되는 자체 진단 모델 (self-diagnostic model) 도 포함되어 있습니다. 전반적으로 TEL UNITY II E855SS Etcher/Asher는 유전체, 본딩 패드 및 절연 필름 에칭 및 애싱 프로세스를위한 안정적이고 효율적인 장비입니다. 첨단 기술과 직관적인 운영 (Inturitive Operation) 을 통해 다양한 애플리케이션에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.
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