판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II #9142650

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II는 특히 반도체 및 평면 패널 산업에서 웨이퍼의 높은 정확도 에칭 및 스트리핑 프로세스를 수행하도록 설계된 고급 에칭/애싱 장비입니다. 이 시스템은 표준 (standard) 및 심층 (deep) 에칭 작업을 모두 수행할 수 있으며, 에칭 정확도가 매우 높고 재현성이 뛰어나며, 최상위 장치 제작에 최적화되어 있습니다. 이 장치는 자동화된 호스트 컴퓨터 인터페이스 (Host Computer Interface) 를 통해 쉽고 직관적인 운영 및 프로그램 관리를 수행할 수 있습니다. TEL UNITYIIE-855 II에는 최대 유연성과 효율성을 위해 하나의 장치로 작동하는 4 개의 독립적으로 제어 된 프로세스 챔버가 포함되어 있습니다. 선박 설계는 다양한 에칭 어플리케이션에 전력과 유연성을 제공합니다. "가스 '조절 장치 는 광선 전류 를 정밀 히 제어 하고 있으며, 동적" 에치' 속도 는 속도 와 정확도 를 향상 시키도록 최적화 되어 있다. Unity IIe에는 다양한 에칭 작업을 자동화하는 포괄적인 프로세스 제어 소프트웨어 패키지가 제공됩니다. 사용자 선택 가능 에칭 (etching) 옵션과 미리 프로그래밍된 프로세스 라이브러리를 제공하여 장치를 빠르게 설정할 수 있습니다. 프로세스 계산 및 처리량 데이터의 정확한 기록으로 데이터 분석이 간편합니다. 기본 제공되는 GUI (Graphical User Interface) 는 모든 기본 컨트롤에 대한 액세스를 제공하는 반면, 매개변수 데이터베이스 관리자 (Parameter Database Manager) 를 추가하면 프로세스 레시피 및 데이터베이스 매개변수의 장기 아카이브가 가능합니다. 에칭 이외의 TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 II 도구는 고급 스트리핑 프로세스 기능도 제공합니다. 특수 스트리핑/에칭/배리어 레이어 제거 프로세스는 공구 수율 및 성능을 향상시킬 수있는 제어 타이밍 (timing) 및 선택성 (selectivity) 을 갖춘 높은 정확도를 제공합니다. 결론적으로 TEL UNITY IIE 855I I 는 고급 에칭/애싱 (etching/ashing) 자산으로 사용자에게 향상된 제어 및 정밀도를 제공합니다. 자동화된 사용자 인터페이스 (User Interface) 와 종합적인 프로세스 제어 소프트웨어 (Comprehess Control Software) 는 작동이 용이하며, 다용도 선박 설계 및 최적화된 동적 에치 속도는 최고 속도와 정확도를 제공합니다. 마지막으로, 특화된 스트리핑 (stripping) 기능은 공구의 생산량과 성능을 극대화하여 반도체 및 평면 패널 장치의 효율적이고 정확한 제작을 가능하게 합니다.