판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS #293820513

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS는 고정밀 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 이 장비는 고급 TEL UV-6700 DUC (Dynamic Unifority Control) 와 최첨단 옵틱 패키지를 결합하여 뛰어난 프로세스 결과를 제공합니다. 이 시스템은 고급 실리콘 온 인슐레이터 (SOI) 기판 홀더를 중심으로 구축됩니다. 기판 홀더는 LAGS (Large Area Glass Substrate) 및 대체 SOI 구조와 같은 새로운 기판뿐만 아니라 표준 실리콘 웨이퍼를 모두 수용 할 수 있습니다. "홀더 '는 진공" 피드스루' 를 갖추고 있어서 "에칭 '과정 중" 웨이퍼' 표면 에 "에치 가스 '를 정확 히 공급 할 수 있다. 이 장치에는 TOKYO ELECTRON의 새로운 고급 PC-TDC (PC 기반 튜닝 및 진단 제어) 기술도 있습니다. 이 기계는 가스 전달, 압력, 에치 지속 시간, 온도, 진공 (vacuum) 과 같은 에치 매개변수를 실시간으로 모니터링 및 튜닝할 수 있습니다. 전체 에치 (etch) 프로세스와 매개변수에 대한 포괄적인 뷰를 제공하여 정밀한 세밀한 튜닝 및 신속한 최적화를 지원합니다. TEL Unity IIe 855DS는 고성능 광 패키지를 사용하여 웨이퍼 프로파일 및 지형을 정확하게 분석합니다. 고급 optics 패키지는 웨이퍼에서 분 (minute) 기능을 감지하고 추가 후처리를 위한 데이터를 제공합니다. 또한, 이 도구에는 고급 웨이퍼 정렬 및 추적 에셋이 장착되어 있습니다. 이 모델은 비표준 기판과 저항을 정확하게 정렬하고 추적할 수 있으며, 에치 (etch) 매개변수를 세밀하게 조정하여 원하는 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS는 고정밀 성능을 갖춘 완전 자동 etcher/asher 장비입니다. 고급 플랫폼 (advanced platform) 을 통해 다양한 웨이퍼 기판을 효과적이고 정확하게 처리할 수 있습니다. 고급 UV-6700 DUC 기술, 직관적인 PC-TDC 시스템 및 광범위한 광학 패키지의 조합으로 Unity IIe 855DS는 최첨단 에칭 및 애싱 성능을 제공합니다.