판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS #293645123

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS는 웨이퍼를 청소하고 평면 화하도록 설계된 에처/애셔입니다. 최대 300mm 직경의 웨이퍼 처리를 처리 할 수있는 모듈 식 장비입니다. 시스템의 주요 기능으로는 고해상도 평면 배치 메커니즘, 스트립 유형 샘플 로딩 메커니즘, 자동 샘플 전송 장치 등이 있습니다. 고정밀도 저항 모니터와 고급 박막 두께 분석기 (Thin Film Thickness Analyzer) 를 장착하여 프로세스 전반에 걸쳐 품질 관리 기능을 제공합니다. 또한, 이 장치는 여러 프로세스 화학 물질 및 온도와 호환되는 높은 처리량 평면 화 (high-throughput planarization) 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. TEL Unity IIe 855DS (TEL Unity IIe 855DS) 는 고급 및 견고한 마이크로컨트롤러 머신에 의해 구동되며, 이는 데이터 오류 위험을 최소화하고 사용자가 도구 설정을 정확하게 조정할 수 있게 해 줍니다. 제어 인터페이스는 사용자 친화적이며, 정확성, 효율성, 안전한 작업 환경을 보장하는 단계별 지침을 제공합니다. 또한 여러 프로세스 사용자 정의 옵션 (예: 수동 레시피 수정 및 다단계 작업 모드) 을 제공합니다. 뿐 만 아니라, 그 자산 은 부식제 로부터 보호 를 받아, 여러 가지 "슬러리 '를 사용 할 수 있다. TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS는 적절한 공기 흐름 및 환기를 보장하는 고급 배기 모델에 의해 지원됩니다. 또한 "와퍼 '의 위치 를 쉽게 조정 하여 최적 처리 를 위해 활발 한" 엘리베이터' 장비 를 갖추고 있다. 이 시스템은 또한 자동 클리닝 장치 (automated cleaning unit) 를 내장하여 기계의 깨끗함을 유지하고 결함이 발생하지 않도록 도와줍니다. 또한, 프로그래밍 가능한 트레이 로더 (Tray Loader) 도구는 웨이퍼를 한 프로세스에서 다음 프로세스로 효율적으로 전송하는 데 도움이됩니다. Unity IIe 855DS의 전반적인 설계는 사용하기 쉽고, 안정적이며, 에너지 효율적인 자산을 제공하는 데 중점을 둡니다. 이 아키텍처는 빠른 실행 시간 (run-up time) 을 제공하여 가장 높은 수준의 프로세스 효율성을 유지하면서 주기를 단축합니다. 통합된 안전 (safety) 기능은 사용자에게 더 나은 마음의 평화를 제공합니다. 특히 부식성, 위험성 있는 화학 물질을 사용할 때 중요합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS는 wafer cleaning 및 planarizing을위한 신뢰할 수 있고, 에너지 효율적이며, 사용하기 쉬운 솔루션을 제공하는 것을 목표로하는 고급 etcher/asher 모델입니다. 빠른 실행 시간, 프로그래밍 가능한 트레이 로더, 액티브 엘리베이터 장비, 자동 클리닝 시스템 (Automated Cleaning System) 을 갖춘 이 장치는 반도체 제작 및 기타 관련 응용 프로그램에 적합합니다.