판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS #197628

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS는 반도체 제작을위한 고급 에처/애셔입니다. 상호 연결 레이어, TSV (through-silicon vias) 및 MEMS 장치와 같은 반도체 부품 제작을위한 정밀 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. TEL Unity IIe 855DS는 매우 정밀한 2 축 카세트-카세트 전송 장비와 고급 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이를 통해 에처/애셔 (etcher/asher) 는 균일성과 제어성이 향상되어 정확하고 안정적인 에칭 및 애싱 프로세스를 제공 할 수 있습니다. 가공 챔버 (processing chamber) 는 표준 에처/애셔 (etcher/ashers) 에 비해 높은 온도에서 향상되어 더 높은 에치 레이트에 도달 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS에는 다용도 가스 흐름 제어, 고급 프로세스 레시피, 폐쇄 루프, 자체 점검 보호, 자동 낙태, 고급 실행 종료 감지 등의 고유 한 고급 기능도 포함되어 있습니다. 이를 통해 높은 수준의 프로세스 효율성, 향상된 품질 관리, 신뢰할 수 있는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 환경을 확보할 수 있습니다. Unity IIe 855DS는 최대 8 인치의 다양한 웨이퍼 크기를 처리하도록 설계되었습니다. 시간당 최대 600 개의 웨이퍼를 실행할 수 있으며, 주기가 짧습니다. 이로 인해 다양한 반도체 생산 요구에 etcher/asher가 적합합니다. OPC-RI/RIE, 스트립 애싱, etch-stop-etch 및 annealing과 같은 고급 프로세스 기술을 사용합니다. 안전 및 환경 기능에 관해서는 TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS가 인증 된 초저출력 밸브로 제작되었습니다. 이것 은 매우 조밀 한 봉인 을 보장 해 주며, 어떤 "가스 '가 주변 환경 으로 새는 것 을 막는 데 도움 이 된다. 또한, 에처/애셔 (etcher/asher) 는 독성이 낮은 다양한 공정 가스를 사용하며, 유해 가스의 수준을 모니터링하도록 설계된 통합 안전 장치가 있습니다. 총 기계 높이 70cm, TEL Unity IIe 855DS는 컴팩트하여 다양한 산업 공간에 적합합니다. 또한 매우 효율적인 툴로서 운영 비용을 절감할 수 있습니다. 요컨대, TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS는 반도체 제작을위한 정확하고 효율적인 etcher/asher로 프로세스 정교화, 품질 제어 및 신뢰성을 제공합니다. 높은 성능, 환경 안전, 낮은 운영 비용 등으로 유명하다.