판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DP #293646577

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DP는 에처/애셔입니다. 높은 에치 (etch) 및 클린 (clean) 기능이 필요한 반도체 프로세스 어플리케이션을 위해 설계된 고급 습식/애셔 장비입니다. 이 "시스템 '은" 디스플레이' 와 "칩 '과 같은" 마이크로일렉트로닉' 및 광자 장치 의 제조 에 사용 되는데, 여기 에서 정확 한 재료 에칭 이 필수적 이다. 이 장치에는 통합 된 수력 기계 스윕 펄스 (hydro-mechanical sweep pulse) 가 장착되어 있으며, 이 펄스는 침전력과 드래그 힘을 모두 사용하여 플래튼 표면에서 웨이퍼를 이동합니다. 이를 통해 전체 에치 사이클 (etch cycle) 에 대한 효율적인 재료 제거 및 기판 평탄도가 가능합니다. 또한, 통합 된 Cooled Gas Distribution Machine, CGD는 모든 공정 챔버 구성 요소가 안전하지 않은 온도에 도달하지 못하게합니다. 즉, 항상 안전하고 통제적인 방식으로 공구를 작동시킬 수 있습니다. TEL Unity IIe 855DP에는 고급 에치 및 클리닝 기능이 있습니다. "아르곤 '과 염소 를 사용 하여 기판 의" 디자인' 과 "패턴 '을 에치' 하는" 펄스 에치 '공정 이 갖추어져 있으며, 내부 "비디오 모니터' 는 이러 한 무늬 의 정확 한 에칭 을 보장 한다. 또한, 에셋은 플라즈마 (Plasma) 및 RCA 클리너 (RCA Cleaner) 와 같은 미디어를 사용하여 에칭 프로세스 동안 기판에 남은 잔기를 제거 할 수 있습니다. 이 모델은 최고 16 wafer synch/sec의 처리량으로 고속 작동하도록 설계되었습니다. 또한 여러 가지 온도 조절, 펄스, 사이클 시간, 진공 카세트, 카세트 스왑 기능을 갖추고 있습니다. 이는 에치 (etch) 와 클린 (clean) 응용 프로그램의 가장 어려운 경우에도 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 또한, 이 장비에는 원격 관리 및 데이터 수집이 가능한 웹 기반 제어/모니터링 소프트웨어가 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 DP는 다재다능하고 정밀한 etcher/asher입니다. "하이에치 '(high etch) 와" 클린' (clean) 기능 을 획득 할 수 있는 기능 을 갖추고 있으며, 전체 과정 을 정확 히 제어 할 수 있다. 이것은 microelectronic 및 photonic 장치의 제작에 필수적인 도구입니다.