판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DI #293645125
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TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DI etcher/asher는 광범위한 기판을 처리 할 수있는 고성능 박막 처리 장비입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 고급 기술로 제작되어 필름과 레이어를 매우 정확하게 제거 및 증착 할 수 있습니다. TEL Unity IIe 855DI etcher/asher에는 프로세스 성능을 실시간으로 모니터링하는 고급 CCD 이미징 시스템이 장착되어 있습니다. 이 단위를 사용하면 엔드포인트 감지 (endpoint detection) 와 그라디언트 밀도 (gradient densities) 또는 기타 복잡한 프로파일이 필요한 레시피에 대한 자동 조정 (automatic adjustment) 이 가능합니다. TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DI는 온보드 저항형 직류 전원으로 구동됩니다. 이 전원 공급 장치 (Power Source) 는 자동화된 오버라이드 보호 시스템 (Override Protection Machine) 과 함께 프로세스 전반에 걸쳐 최적의 운영 매개변수를 유지하여 일관된 결과와 향상된 프로세스 반복성을 제공합니다. Unity IIe 855DI는 에칭 및 예금 필름에 최첨단 쇼어 헤드 스타일 플라즈마 소스를 사용합니다. 이 "소오스 '는 작동 표면 으로" 에너지' 를 효율적 으로 전달 하도록 설계 되어 있어, 난방 과 냉각 을 효율적 으로 할 수 있게 해 준다. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DI etcher/asher는 또한 사용자에게 제어 정도가 향상된 다양한 맞춤형 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 완전히 통합된 웨이퍼 핸들러, 다중 영역 열 처리, 자동 수준 제어, 사용자 선택 가능 (user-selectable) 운영 매개변수 등이 포함됩니다. 전반적으로 TEL Unity IIe 855DI etcher/asher는 다양한 기판 및 프로세스를 처리 할 수있는 강력하고 다양한 도구입니다. 이 자산은 실시간 모니터링 기능과 고급 프로세스 매개변수 (advanced process parameter) 를 통해 모든 씬 필름 프로세스에 적합한 선택입니다.
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