판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9303715

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD는 다양한 장치 또는 기판을 제조하기위한 고급 에치/애쉬 장비입니다. 고급 제어 시스템 및 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 탁월한 성능을 제공합니다. 이 장치에는 최대 8 개의 300mm 웨이퍼 또는 4 개의 600mm 웨이퍼를위한 웨이퍼 캐리어를 포함하여 6 개의 독립적 인 프로세스 챔버가 있습니다. 고정밀 리니어 모터 드라이브 (Linear Motor Drive) 를 사용하여 빠르고 정확한 동작 제어를 통해 처리 시간을 단축하고 생산성을 높입니다. TEL UNITY IIE 855 DD는 유지 관리를 단순화하고 서비스 기능을 개선하도록 설계되었습니다. 언로드된 프로세스 챔버 (process chamber) 는 클리닝 및 유지 보수, 프로세스 간소화, 다운타임 대폭 단축을 위해 완전히 제거할 수 있습니다. 이 기계는 또한 기본 루틴을 내장하여 웨이퍼 (wafer) 준비에 소요되는 시간을 최소화하여 처리 시간을 절약합니다. 품질을 보장하기 위해 TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD에는 수많은 기능이 있습니다. 이 도구는 GEM, SEMI 6.3 및 SEMI 14와 같은 업계 표준을 준수합니다. 고유한 고급 제어 (advanced control) 자산은 실시간 데이터 수집 및 피드백을 사용하여 etch 및 ash 매개변수를 제어 및 최적화합니다. 또한, 모든 프로세스 단계는 반도체 프로세스 개선에 대해 모니터링되고 제어됩니다. 간편한 운영을 위해 UNITY II E-855DD에는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스가 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 설정을 사용자 정의하고 반복 기능에 대한 프로세스 레시피를 신속하게 회수할 수 있습니다. 화면상의 도움말 및 문제 해결 조언도 제공됩니다. 또한, 온보드 진단 시스템을 사용하면 문제를 쉽게 식별하고 문제를 신속하게 해결할 수 있습니다. 결론적으로 TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD는 반도체 제조 및 R&D 노력을위한 효과적인 에치/애쉬 모델입니다. 고급 제어 및 성능 기능은 탁월한 처리 결과를 보장하는 반면, 사용자에게 친숙한 인터페이스 (interface) 와 온보드 (on-board) 진단 시스템은 설치 및 유지 보수에 소요되는 시간을 최소화합니다.