판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9294562

TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD
ID: 9294562
웨이퍼 크기: 8"
Dry etcher, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD는 반도체 웨이퍼를 효율적으로 에칭하도록 설계된 에처 (asher라고도 함) 입니다. 이 제품은 매우 지능적인 컴퓨터 제어 장비로, 대량 (mass scale) 으로 웨이퍼를 안정적으로 에칭할 수 있습니다. 이 시스템은 2 개의 스테인레스 스틸 카세트, 제어 장치 및 스캐닝 전자 현미경으로 구성되며, 모두 단일 운영 플랫폼으로 제어됩니다. 텔 유니티 IIE 855 DD (TEL UNITY IIE 855 DD) 는 화학 에치 장치를 특징으로하여 처리 된 웨이퍼에 정확한 양의 에찬을 적용 할 수 있습니다. 이 기계 는 매우 정확 한 "스레딩 '기술 에 의하여 구동 되는데, 이것 은" 와퍼' 를 "카세트 '에서" 카세트' 로 옮기고 최소한의 오정 을 보장 해 준다. 이 도구 는 또한 가열 된 "노즐 '" 오븐' 을 특징 으로 하여 "에찬트 '를 분배 하면서 부드럽게 가열 하여 보다 일관성 있는" 에치' 결과 를 가져온다. 스캐닝 전자 현미경은 etch 및 post-etch 프로세스 모니터링 모두에 대한 고해상도, 3 차원 이미지 뷰를 제공합니다. 이 이미지는 etch 진행 상황 모니터링, 프로세스 이상 확인, wafer 데이터 기록 등에 사용할 수 있습니다. 또한, 에셋은 다양한 통계적 프로세스 제어 (statistical process control) 기능을 제공하여 에칭 프로세스를 최적화하기 위해 모델 데이터를 검토 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD는 Windows 기반 운영 플랫폼으로 구동되며, 간편한 데이터 전송 및 분석뿐만 아니라 빠르고 간단한 사용자 인터페이스 사용자 정의 기능을 제공합니다. 이 장비는 자동 (Automatic) 및 수동 (Manual) 프로세스를 모두 갖추고 있으며, 다양한 진단/유지 보수 툴이 내장되어 있어 장비 유지 보수 작업을 빠르고 간편하게 수행하고 다운타임을 방지할 수 있습니다. 전반적으로, UNITY II E-855DD는 고급적이고 신뢰할 수있는 에처이며, 대량으로 신뢰할 수 있고 반복 가능한 에치 결과를 제공합니다. 광범위한 기능 세트, 신뢰성 있는 성능, 간편한 운영 (Simple Operation) 기능을 통해 광범위한 에칭 (Etching) 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.
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