판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9109095

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD는 산업 또는 대학 수준의 생산에 이상적인 이중 차선 etcher/asher입니다. 이 제품은 스텝 퍼, 로봇, 진공 실과 같은 표준 도구와 높은 수준의 통합을 제공합니다. 이 장비는 실리콘 웨이퍼, 유리, 금속, 유기 재료 등 다양한 기판을 지원하도록 설계되었습니다. 또한 여러 주요 광석기 기술과도 호환됩니다. TEL UNITY IIE 855 DD는 탁월한 처리량과 반복 가능한 결과를 위한 통합 프로세스 제어를 갖춘 고성능 도구입니다. 자동 "웨이퍼 '교환 이 갖추어져 있어서 여러 개 의 기판 을 서로 다른 단계 로 편리 하고 안전 하게 처리 할 수 있다. 또한 855DD는 프로세스 매개 변수에 대한 실시간 피드백을 통해 고급 프로세스 제어를 제공합니다. 변칙을 자동으로 감지하고 적절하게 반응하여 최소 연산자 상호 작용으로 일관된 에치 프로파일 (etch profile) 을 허용합니다. 프로세스 제어를 위해, 855DD는 신뢰할 수있는 에치 레이트 (etch rate) 와 화학 종료를 보장하기 위해 독점 센서 기술을 갖춘 통합 가스 배기 시스템 (gas exhaust system) 을 갖추고 있습니다. 또한 프로세스 동작 및 스테이지 이동 속도를 정확하게 관리하는 모터 컨트롤러 (motor controller) 가 있습니다. 또한 855DD에는 정확한 프로세스 제어를 위한 통합 추적 가능성 (Traceability) 및 데이터 저장 장치가 있습니다. 내장형 레이저 스캐너 (Laser Scanner) 를 사용하여 에치드 데이터 (etched) 코드와 바코드를 읽어 품질 관리 및 데이터 저장 능력을 향상시킬 수 있습니다. 855DD는 장비 상태, 추적 가능성 데이터 (traceability data), 운영 내역 (operating history) 및 머신 장애 정보를 저장하고 모니터링할 수도 있습니다. TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD는 PC 기반 사용자 인터페이스를 사용하여 전체 프로세스 제어, 모니터링, 데이터 저장 및 다양한 보고 옵션을 제공합니다. 직관적인 작업과 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 쉽게 설치하고 사용할 수 있습니다. UNITY II E-855DD는 높은 수준의 통합 및 제어 외에도 안정성, 안전성 및 소프트 랜딩을 위해 설계되었습니다. 이 공구는 국제 안전 표준 (International Safety Standard) 을 완전히 준수하며 안전한 웨이퍼 처리 용 기계식 셔터 (Shutter) 와 공정 연기 격리를 위한 보호 재료 (Protective Material) 를 갖추고 있습니다. Unity IIe 855DD는 산업 또는 대학 수준의 생산에 적합한 이중 차선 etcher/asher를 사용하기 쉽습니다. 표준 툴과 통합하여 효율적인 프로세스 제어 및 데이터 스토리지를 제공합니다 (영문). 직관적이고, 사용자 친화적인 인터페이스와, 신뢰할 수 있는 가스 배기 (gas exhaust) 도구를 통해 산업 환경에 이상적인 선택이 가능합니다. 효율적이고 안전한 운영을 통해 TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD는 모든 생산 환경에 완벽한 선택입니다.