판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293764218

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD는 MEMS, GaAs (Gallium Arsenide), 광학 및 마이크로 전자 장치 제조를위한 올인원 솔루션을 제공하는 고 생산성 에처/애셔입니다. 이 장치는 건식 에칭과 재싱의 두 가지 기능을 제공합니다. 복잡한 MEMS, GaAs, 광자 (photonics), 전자 기기의 수율과 품질을 높이면서 반복 가능하고 균일한 프로세스를 제공하여 에칭 프로세스를 개선하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 로드 잠금 (Load Lock), 로봇 암 (Robot Arm), 독립 모듈 (Independent Module) 및 듀얼 챔버 (Dual Chamber) 에처가 있으며 동일한 영역에서 완전한 웨이퍼 처리 및 처리가 가능합니다. 4 시간 에칭 사이클 당 최대 8 개의 6 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 로봇 암은 에칭 프로세스 동안 웨이퍼를 정확하게 배치합니다. 독립 모듈을 사용하면 각 웨이퍼 세그먼트에 다른 에칭 매개변수를 적용할 수 있습니다. 이 장치에는 에칭을위한 플루오린 라디칼을 생성하기위한 발전기가 장착되어 있습니다. 첨단 샘플링 (sampling) 기술을 활용하여 필요에 따라 에칭 속도를 조정하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 이렇게 하면 총 처리 시간이 단축되고 에치 균일성이 향상됩니다. 뿐 만 아니라, 이 장치 는 건조 한 공기 에서 고품질 의 재싱 (ashing) 을 할 수 있으며, "웨이퍼 '의 층 에 갇혀 있는 잔여" 가스' 를 감소 시킬 수 있다. 이 장치는 또한 유니티 (Unity) 소프트웨어를 통해 작동하기가 매우 쉽습니다. 이 소프트웨어는 다양한 응용 프로그램에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 유니티 (Unity) 소프트웨어를 사용하면 프로세스 조건의 모니터링, 기록, 제어 및 에칭 프로세스에 대한 자세한 보고서가 가능합니다. 따라서 에칭 (etching) 조건이 일관되고 정확하게 유지되므로 최적의 수익률과 품질 성능이 제공됩니다. 이 장치는 매우 강력하고 안정적이며, 뛰어난 가동 시간과 유지 보수 액세스를 제공합니다. TEL UNITY IIE 855 DD는 신뢰할 수 있고, 반복 가능하며, 정확한 에칭 및 애싱을 제공하도록 설계되어 MEMS, GaAs, 광자 및 마이크로 전자 장치 제작에 적합합니다.