판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293759382

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD는 여러 기판 및 프로세스를 처리하도록 설계된 고급 에치/애셔 장비입니다. 풀 7 인치 플래튼을 갖춘 이 시스템은 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 광범위한 어플리케이션에 비용 효율적인 프로세스 유연성을 제공합니다. 또한, 프로그래밍 가능한 플래튼 구성은 모든 프로세스 요구에 대해 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. TEL UNITY IIE 855 DD의 강력하고 안정적인 설계에는 스테인리스 스틸 인테리어 챔버, 고급 프로세스 컨트롤 모듈, 온도 비례, AMAT 모델 855DD 유형 RF 소스, 직류 소스, 딥 에치 기능, PECVD 고출력 및 추가 처리 및 에치 프로세스가 포함됩니다. 이 장치에는 바코드 리더기 (옵션) 와 수동 병렬 로딩 옵션이 포함 된 20 슬롯 오픈 프레임 스타일 카세트 로더가 장착되어 있습니다. 가스 흐름 모니터, 압력 조절 및 제어, 대량 흐름 컨트롤러를 갖춘 멀티 가스 전달 장치 (multi-gas delivery unit). 이 기계는 높은 정확도, 고급 프로세스 제어 도구 (Advanced Process Control Tool) 를 갖추고 있으며 이를 통해 사용자가 압력, 온도 및 바이어스 제어 셋포인트를 정확하게 설정하고 유지할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD는 배기 제어, NFC 청소 개폐 및 우발적 인 프로세스 시작 또는 장비 손상을 방지하기위한 예방 "중단" 버튼도 제공합니다. 또한, 이 자산에는 프로세스 인력과 장비의 안전성을 보장하기 위해 프로그램 가능한 (programmable) 보호 기능이 내장되어 있습니다. TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD는 최대 2개의 모니터를 제공하여 처리 중 온도, 압력 및 기타 프로세스 모니터링 매개변수를 추적 할 수 있습니다. 이 모델에는 레시피 (Recipe) 스토리지 장비가 내장되어 있어 한 번에 최대 128 개의 고유 한 레시피를 저장하고 리콜 할 수 있습니다. 이 시스템에는 또한 단일 웨이퍼 및 배치 처리를 위해 etch 프로세스를 최적화하는 10 설정 압력 컨트롤러가 포함되어 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD는 에치 챔버 시간, 압력 및 온도 설정 점뿐만 아니라 웨이퍼 이미지 캡처, 박막 측정 및 포토 esist의 다른 실시간 데이터를 포함하여 다양한 데이터를 캡처 할 수 있습니다. 이 데이터는 분석을 위해 수집 및 보고될 수 있습니다. 또한 지속적인 모니터링 및 냉각 도구 유지 관리를 위해 통합 HMS (Health Monitoring Machine) 를 제공합니다. 요약하면, TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD는 광범위한 중급 및 고급 프로세스 기능을 제공하는 에치/애셔 자산입니다. 강력한 스테인리스 챔버 (Stainless Steel Chamber), 종합 여과, 고급 버스 모니터링 및 추가 안전 요소를 자랑하는이 모델은 매우 효율적이고 안정적이며 비용 효율성도 높습니다.