판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293669281
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ID: 293669281
Etchers
ECC Rack V2
EPD 210S
Dry pump
Chiller
Front type: Normal (No SMIF type).
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD는 일본 기반 회사 TEL Limited (TOKYO ELECTRON) 가 설계 한 에처/애셔입니다. 이 제품은 반도체 생산에서 나노 기술 연구 (nanotechnology research) 에 이르기까지 다양한 응용 분야에 적합합니다. TEL UNITY IIE 855 DD는 고급 정화 및 사이트 준비 기능을 제공하는 자동 에칭/애싱 도구입니다. 이 제품은 자동화된 VDE (Vertical Drive) 장비로 정확성, 제어성 및 반복성을 보장하도록 설계되었습니다. 수직 드라이브 시스템 (Vertical Drive System) 을 사용하면 여러 기판 높이에서 에칭 프로세스와 동시 작업을 정확하게 제어할 수 있습니다. 에처/애셔 (Etcher/asher) 에는 수동 프로세스 활동이 시퀀스를 방해하지 못하도록 쉽게 통합 자동화 키트가 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD에는 고정밀 웨이퍼 판독이 가능한 고급 조명 장치가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 각 etch 단계를 처리 중 각 chip 의 위치와 함께 정확하게 추적할 수 있습니다. 소형 기능에 대한 고정밀 비 접촉 측정을 가능하게 하는 3D 고해상도 이미징 머신을 갖추고 있습니다. 프로세스 효율성을 극대화하기 위해, 이 장치는 또한 빠르고 균일 한 에칭 (etch) 과 에칭 조건 관리를 개선하기위한 지속적인 건식 (dry-etch) 을 가지고 있습니다. UNITY IIE 855 DD에는 사용자 효율성을 향상시키는 다양한 기능도 있습니다. etcher/asher에는 직관적 인 사용자 지침을 제공하는 인체 공학적 휴먼 머신 인터페이스 (HMI) 가 장착되어 있습니다. 또한 실시간 프로세스 모니터링 툴 (real-time process monitoring tool) 을 통해 엔지니어가 에칭 프로세스 내에서 이상을 신속하게 감지하고 식별할 수 있습니다. 또한, 매개변수, 레시피, 그래프 및 기타 중요한 데이터를 저장하는 고급 데이터베이스 에셋을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD는 가장 까다로운 에칭 및 애싱 프로세스에 성능, 유연성 및 신뢰성을 제공합니다. 또한, 탁월한 고객 서비스와 업계 최고의 보증 서비스가 지원됩니다. etcher/asher 는 고객의 고유한 요구 사항을 충족할 수 있는 완벽한 툴을 제공하도록 설계되었으며, 탁월한 에칭/애싱 (etching/ashing) 솔루션을 제공합니다.
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