판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293646425

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD는 3 챔버 디자인의 고성능 에처/애셔입니다. 에칭 (etch) 및 증착 (deposition) 과정을 한 단계로 결합한 독특한 듀얼 모드 에치/애쉬 (etch/ash) 방법이 장착되어 있습니다. 이 방법은 높은 생산성, 균일성 및 최소한의 폐기물로 생산됩니다. TEL UNITY IIE 855 DD의 챔버 크기는 425 x 425 x 200mm이며, 대용량은 여러 기판을 동시에 처리 할 수 있습니다. 이중 축 X-Y 스캐닝 기능이 장착되어 있어 에칭 (etching) 과 증착 (deposition) 을 정확하게 포지셔닝할 수 있습니다. 또한 프로그래밍 가능한 기판 리프트 오프 (lift-off) 메커니즘을 가지고 있으며, 더 빠른 속도로 작동 할 때 더 높은 정밀도로 작동 할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 자동 웨이퍼 로드 및 언로드, 실시간 원격 모니터링 및 진단, 강력한 프로세스 제어 알고리즘 등 다양한 고급 자동화 및 제어가 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD는 다른 응용 프로그램에 대한 최적의 에치/애쉬 레시피를 자동으로 생성 할 수 있습니다. 게다가, "가스 '는" 가스' 를 식각 하지 않고 작동 하여 여러 종류 의 "에칭 '과 증착 과정 에 적합 하게 설계 되었다. UNITY II E-855DD는 환경 모니터링 시스템 (Environmental Monitoring System) 및 질소 침입 방지 시스템 (Nitrogen Inrush Protection System) 과 같은 안전 기능이 증가하여 가스 폭발 에칭 위험을 줄였습니다. 또한 자동 청소 시스템 (Automatic Cleaning System) 이 있어 유지 보수가 빈번하지 않아도 됩니다. TEL UNITY II E-855DD는 넓은 프로세스 윈도우와 고효율 플라즈마 소스로 설계되었으며, 높은 처리량 에칭 (etching) 및 고품질 증착 어플리케이션 모두에 적합합니다. 전반적으로 UNITY II E-855DD는 수많은 고급 기능을 갖춘 강력하고 다재다능한 etcher/asher입니다. 다양한 프로세스 제어 소프트웨어, 자동화 (automation), 안전 (safety) 기능을 갖추고 있어 고정밀 에칭 및 증착 프로세스에 적합합니다. 또한 고효율 플라즈마 소스 (Plasma Source) 와 와이드 프로세스 창 (Wide Process Window) 을 통해 높은 처리량과 고품질 어플리케이션 모두에 적합합니다.