판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 844DD #9377254

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 844DD는 고속, 중대형 용량 배치 에칭 및 애싱 장비로, 연구 및 중소, 중견 생산 시설의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. Unity IIe에는 포토 esist, 스페이서 에칭 및 CMP 에칭/애싱 챔버가 장착되어 있으며, 직경이 최대 8 인치 (200mm) 인 기판을 처리 할 수 있습니다. 내장 CCD 카메라 시스템에서는 챔버 내부의 기판을 직접 볼 수 있습니다. Unity IIe의 추가 기능에는 2 단계 출력, 동시 에치/애쉬 처리 및 가열 된 EBR이 포함됩니다. Unity IIe는 TEL U-SERIES 다중 메모리 장치가 장착 된 15.1 인치 터치 패널 컨트롤러로 구동됩니다. 이 기계는 최대 800 개의 레시피와 1000 개의 프로그램을 저장할 수 있습니다. 생산성 향상을 위해 컨트롤러는 웹 브라우저를 통해 원격 제어를 허용합니다. Unity IIe는 강력한 소스 구조 구성, 다중 메모리 도구, 2 단계 출력 반전 및 EBR 제어 기능의 결과로 높은 성능을 제공합니다. 소스 구조 (schematic) 구성을 통해 안정적인 프로세스 기능을 제공하는 반면, 다중 메모리 (multi-memory) 에셋은 고속 메모리 쓰기 작업을 제공합니다. 2 단계 출력 인버터는 입자 수집 성능을 높이고 EBR 제어 기능은 프로세스 레시피를 확장합니다. 안전성 측면에서 Unity IIe는 FPD 안전 클래스 2 (Safety Class 2) 에 명시된 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 모델은 가스 센서, 소화기 및 자동 압력 정지 (다른 안전 측정) 를 통합합니다. 전반적으로 TEL Unity IIe 844DD는 고성능 에칭 및 애싱 (ashing) 장비로, 연구 및 생산 시설에 안정적이고 고정밀 처리를 제공합니다. 고속 작동, 내장 CCD 카메라 시스템, 고급 안전 기능 및 효율적인 소스 구조 구성을 통해 Unity IIe는 정확한 마이크로 에칭, 기판 에칭 및 CMP 에칭/애싱에 이상적인 도구입니다.