판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 844DD #293586743

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 844DD는 TEL의 Unity 시리즈 장치의 에처 장비입니다. 다기능 플라즈마 에칭 및 증착 시스템으로, 사용자에게 매우 정확한 에칭 및 증착 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 844DD 모델은 이중 헤드 장치이며, 각 플라즈마 소스는 최적의 에칭 및 증착 결과를 제공합니다. 이 장치는 효율적이고 안정적이며, 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 정확한 에칭 (etching) 과 증착 (deposition) 을 보장하기 위해 여러 기능이 장착되어 있습니다. 플라즈마는 단단 임피던스 매칭 회로를 통해 생성되며, 이는 더 균일 한 에칭 및 증착 결과를 생성하는 데 도움이됩니다. 이 장치에는 조정 가능한 RF 발전기 (Adjustable RF Generator) 도 장착되어 있으며, 이 발전기는 플라즈마 처리에 사용되는 전력 범위를 조정합니다. RF 생성기는 일정한 주파수 (frequency) 와 스윕 변조 (sweep modulation) 를 모두 제공하여 에칭 및 증착 결과를 더욱 구체화하는 데 도움이됩니다. 이 장치에는 여러 가지 안전 기능도 있습니다. 에치 챔버 (etch chamber) 의 뚜껑이 열리면 플라즈마 소스에서 연동 스위치가 종료됩니다. 챔버에는 청소 과정을 돕기 위해 통합 진공 장치가 있습니다. 또한, 장치 의 "캐비닛 '은 열 의 균등 한 분배 를 보장 하여, 민감 한 부품 에 대한 잠재적 인 손상 을 방지 하도록 설계 되었다. 844DD 모델은 다양한 에칭 및 증착 응용 프로그램을 지원하도록 설계되었습니다. 고밀도 플라즈마 에칭과 깊은 반응성 이온 에칭 응용 프로그램을 모두 지원할 수 있습니다. 금속, 세라믹, 유리 등 다양한 기판을 처리 할 수 있도록 설계되었습니다. 장치에 검사용 고해상도 광학기계가 있습니다. 이 장치에는 데이터 통합 인터페이스 (data integration interface), 레시피 에디터 (recipe editor), 통합 가스 도구 (integrated gas tool) 등 다양한 하드웨어 및 소프트웨어 기능이 장착되어 있습니다. 전반적으로 TEL Unity IIe 844DD는 안정적이고 정확한 에칭 및 증착 결과를 제공합니다. 강력한 에칭 에셋 (etching asset) 으로, 정확한 결과를 보장하기 위해 다양한 기능으로 설계되었습니다. 이 장치는 또한 다양한 안전 (Safety) 기능을 갖추고 있으며, 따라서 사용자는 안전한 업무 환경을 누릴 수 있습니다.