판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP #293796082

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PP는 다양한 기판에 박막을 배치하도록 설계된 etcher/asher 유형입니다. 4 중 종점 탐지가있는 크고 산업적으로 유능한 기계입니다. 매우 정확한 박막 증착이 필요한 어플리케이션에 적합합니다. TEL Unity IIe 655PP는 약 18 "x30" (45cm x 76cm) 의 대형 챔버를 가지고 있으며, 두 챔버에서 동시에 증착 할 수있는 이중 챔버 디자인을 갖추고 있습니다. 4 개의 500W IR 램프로 (4 개의 500W IR 램프로 구동) 는 각 챔버를 최대 500 ° C의 온도까지 가열하고 기계 후면에는 기판 바이어스 전압 (-100 볼트) 을 제공하는 특수 코일이 있습니다. TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP는 정교한 종점 감지 시스템을 사용합니다. QED (Quadruple Endpoint Detector) 와 DIP (Digital Image Processor) 를 결합하며 둘 다 기계의 컨트롤러에 내장되어 있습니다. QED는 쿼츠 튜브에 4 개의 적외선 검출기를 사용하여 필름 두께와 균일성을 모니터링하고, DIP는 챔버 내에 위치한 특수 카메라로 찍은 이미지를 분석합니다. 이것은 매우 정확한 박막 증착을 가능하게하며, 과학자들에게 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 과정의 품질에 대한 귀중한 피드백을 제공 할 수 있습니다. 유니티 IIe 655PP (Unity IIe 655PP) 는 또한 플라즈마 소스를 챔버에 설치하여 플라즈마 에칭을 수행 할 수 있습니다. 이 기계의 특별한 특징은 스파이크 -ID (Spike-ID: Spike-ID: 고급 독점 에치 기술) 로, 작은 구조물 또는 특징을 정확하게 만들 수 있으며, 높은 종횡비 구조를 만들 수 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP는 다양한 응용 분야에 적합한 에처/애셔입니다. 정교한 종단점 감지 시스템 (End-Point Detection System) 과 박막 증착 (Thin Film Deposition) 및 플라즈마 에칭 (Plasma Etching) 기능을 모두 갖추고 있어 매우 정밀하고 작은 구조가 필요한 초정밀 어플리케이션에 적합합니다.