판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP #293793647

TEL/TOKYO ELECTRON Unity는 반도체 처리를 위해 설계된 고급 asher/etcher입니다. 여기에는 특허를받은 플라즈마 생성이 포함되어 있으며, 이는 에칭의 균일성과 정밀성을 촉진합니다. 또한, TEL Unity는 산화물 에치, 레지스트 스트립 및 최종 수동주기로 구성된 독점적 인 3 단계 에칭 프로세스를 특징으로합니다. 이 시스템의 고급 기술로 인해 처리량이 증가하고, 유지 보수 작업으로 인한 다운타임이 최소화됩니다. TOKYO ELECTRON Unity도 자동화된 로드 잠금 기능을 제공하여 처리 속도를 높입니다. 이것은 Z 스테이지 (Z-stage) 와 자동 웨이퍼 카세트 매거진 (automated wafer cassette magazine) 을 결합하여 반복 로드를 위해 프로세스 레시피를 메모리에 보관하면서 안전한 환경을 제공합니다. 통일성은 또한 6 개의 카세트를 동시에 더 빠르게 적재 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Unity는 고급 프로세스 제어 및 자동화 기능과 감독 비전 시스템을 통합하여 프로세스 일관성과 반복 성을 보장합니다. 또한 프로세스 튜닝, 신속한 구축 시간, 새로운 프로세스 설정 등을 지원합니다. 이렇게 하면, 공정 을 발견 하고 정련 하는 데 소비 되는 시간 과 "에너지 '가 상당 히 줄어든다. TEL Unity의 고급 이온 이식 기능은 이온을 얇은 필름에 정확하게 이식 할 수 있습니다. 이를 통해 도핑 (doping) 프로세스를 정확하게 제어하여 최종 제품에서 고품질 장치 (device) 를 생산할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Unity의 고급 수평 플라즈마 소스는 또한 여러 공정 지점에서 동시에 에칭을 허용합니다. Unity의 소프트웨어는 사용하기 쉬운 프로세스 레시피 관리 시스템과 프로세스 반복성 및 품질을 향상시키는 SPC (Statistical Process Control) 시스템으로 구성됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Unity는 TEL이 개발 한 Imagine 플랫폼으로 구동됩니다. 이 플랫폼은 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 요소를 가지고 있어 프로세스를 쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. TEL Unity는 최대 웨이퍼 크기 300mm를 처리 할 수 있으며 Class 100의 Cleanroom 클래스를 제공합니다. 공사 및 산업용 전기 부품은 오염의 위험을 크게 줄이고 정전으로부터 신속한 복구를 용이하게 합니다 (영문). 전반적으로 TOKYO ELECTRON Unity는 처리량을 높이고 장기 유지 관리를 줄이기 위해 설계된 고급 asher/etcher입니다. 특허를 받은 플라즈마 생성, 3 단계 에칭 프로세스, 자동 로드 잠금 (Automated Load Lock) 및 견고한 프로세스 소프트웨어를 통해 높은 품질과 수율을 제공하는 안정적인 프로세스를 지원합니다. 통합 (Unity) 은 또한 이온 임플란테이션, 자동 웨이퍼 카세트, SPC 시스템과 같은 여러 가지 고급 기능을 제공하여 엔지니어가 프로세스를 프로그래밍 및 모니터링하기 쉽습니다.