판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP #293764224

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PP는 높은 수준의 정확도와 정밀도로 다양한 웨이퍼 유형을 에치 및 애쉬 할 수 있도록 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 다양한 프로세스와 매개변수를 활용하여 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 결과를 얻을 수 있습니다. TEL Unity IIe 655PP는 고급 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 13 "진공 웨이퍼 에칭 및 금속 화 시스템입니다. 8 개의 고해상도 디지털 격리 레이저 헤드가 장착 된 고속 에칭 엔진을 갖춘 TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP의 고급 존 밸런싱 기능을 통해 웨이퍼 유형 및 두께에 따라 정확하고 반복 가능한 에칭 및 애싱 결과를 얻을 수 있습니다. 유니티 IIe 655PP (Unity IIe 655PP) 의 고급 로봇 장치는 매우 정확한 에칭 및 애싱 기능 외에도 정확한 웨이퍼 처리를 허용합니다. 여기에는 통합 된 단일 웨이퍼 카세트, 웨이퍼 픽업 로봇, 웨이퍼 클리닝 로봇 (Wafer Cleaning Robot) 이 포함되어 있으며, 개별 카세트 그리드 사이에서 웨이퍼를 이동할 수 있으며 웨이퍼 핸들링과 에칭 위치 사이에서 앞뒤로 자동으로 셔틀합니다. 통합 웨이퍼 클리닝 로봇은 또한 매우 효율적이고, 반복적이며, 신뢰할 수있는 클리닝 프로세스를 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PP는 또한 사용자 친화적 인 터치 스크린 GUI를 인터페이스로 사용하여 직관적으로 인터페이스를 사용하여 원하는 에칭 및 애싱 결과에 필요한 매개변수를 입력합니다. 또한 사용자 정의 가능한 사용자 프로그램을 최대 4 개까지 사용하여 다른 에칭 프로세스를 메모리에 저장할 수 있습니다. 또한, 기계는 모든 웨이퍼 에칭 및 금속 화 매개변수를 저장할 수 있으므로, 다른 웨이퍼 유형 (wafer type) 과 다른 로트 크기 (lot size) 사이에서 일관된 에칭 및 애싱 성능을 보장합니다. TEL Unity IIe 655PP (TEL Unity IIe 655PP) 는 시장에서 선도적인 etcher/asher 툴로서 다양한 웨이퍼 유형, 크기 및 두께를 에치 앤 애쉬 할 수 있도록 특별히 설계되었습니다. 고급 zone 밸런싱 (zone balancing) 기능과 최첨단 자동화 기능을 갖춘 이 자산은 매우 정확하고 반복 가능한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 결과를 제공하여 고급 웨이퍼 처리 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.