판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655II #293764223

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655II는 실리콘 웨이퍼, 구리 웨이퍼, 기타 유기 및 무기 재료와 같은 광범위한 기판을 정확하게 처리하도록 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템에는 기판 유형과 일치하는 챔버 (chamber) 가 장착되어 있어 정확한 처리가 가능합니다. 이 장치는 또한 우수한 소스 매칭을 사용하여 높은 균일 한 균일 에칭 결과를 얻습니다. TEL Unity IIe 655II의 또 다른 장점은 원격 모니터링 및 패라메트릭 분석을위한 이더넷 (Ethernet) 연결을 포함한 고급 기능입니다. 이 시스템은 ExactWeigh (tm) 및 여러 기판 로드 및 언로드 기능을 갖춘 최신 에칭 및 애싱 기술을 사용합니다. TOKYO ELECTRON Unity IIe 655II는 배치 및 단일 웨이퍼, 다중 단계 프로세스 시퀀스 모두에서 최대 8 개의 4 인치, 6 인치 및 8 인치 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 도구는 사이클 일관성과 프로세스 반복성을 보장하기 위한 온보드 테스터 (Onboard Tester) 와 함께 제공되며, 데이터 로깅을 통해 추적 가능성과 신속한 프로세스 최적화가 가능합니다. Unity IIe 655II는 탁월한 자동 흐름 제어, 온도 조절, 압력 제어 및 진공 제어를 제공하는 SINTEF NExp ™ 호환 에치/애쉬 프로세스 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 자산은 TEL Sophisticated Solution (TM) 과도 호환되며, 모델로 직접 다운로드 할 수있는 레시피를 만드는 소프트웨어입니다. 이 소프트웨어를 통해 운영자는 나중에 사용할 수 있도록 레시피를 만들고 저장할 수도 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655II의 독특한 특징 중 하나는 GDD (Gas Dynamic Dose) ™ 기술로, 각 기판의 처리 주기 동안 가스를 정확하게 관리해야합니다. 이 GDD ™ 기술은 장비의 고급 소스 매칭 (source matching) 및 멀티스텝 프로세스와 결합하여 정확하고 균일한 에칭 결과를 보장합니다. 또한, 시스템은 또한 재순환 장치 (recirculation unit) 를 갖추고 있으며, 에칭 결과의 품질을 손상시키지 않고 같은 챔버에서 여러 기판을 처리 할 수 있습니다. TEL Unity IIe 655II는 뛰어난 에처/애셔 기계입니다. 고급 기능, 정밀 클리닝 기능, 높은 수준의 에칭 품질 (etching quality) 및 균일성 (unifority) 을 갖춘 이 솔루션은 다양한 재료 처리 요구에 이상적인 에칭 솔루션입니다. TOKYO ELECTRON Unity IIe 655II는 탁월한 ROI (투자 수익) 를 제공하여 장기적인 신뢰성과 탁월한 프로세스 성능 기능을 제공합니다.