판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655DD #9148397

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 655DD는 0.1äm 이상의 기능 크기를 가진 고밀도 장치에 사용되는 생산 공정을 위해 설계된 초정밀 etcher/aser입니다. 3 중 챔버 구성을 사용하며 최대 웨이퍼 크기가 6 인치 ~ 8 인치 웨이퍼로 다양한 제조 공정을 수용합니다. 저압 액체 에치 (liquid etch) 공정을 갖춘 고급 프로세스 모니터링 시스템 (advanced process monitoring system) 을 통해 다양한 전자 장치를 정확하고 정확하게 에칭할 수 있습니다. 일반적으로 디바이스의 etching 은 etcher 에 의해 생성됩니다. 비활성 (inert) 대기에서 패턴이 생성되어 패턴과 웨이퍼 (wafer) 사이의 접촉으로 인한 서피스 손상을 줄입니다. 또한, TEL Unity IIe 655DD의 저압 액체 에치 공정은 높은 압력으로 인해 발생할 수있는 결함 가능성을 줄입니다. 이것 은 매우 정확 하게 퇴적 된 "레이어 '의 재료 를 가진 여러 가지 형태 의 전자 회로 를 식각 할 수 있게 한다. "에처 '는 필요 하다면 박막 재료 의 증착 에도 사용 될 수 있다. 이 과정 에는 전극 이나 음극 을 "웨이퍼 '표면 에 제어 하는 것 이 포함 되는데, 이것 은 지정된 물질 의 얇은" 필름' 을 증착 하기 위한 것 이다. 이 과정 은 "웨이퍼 '표면 에 유전체 층 을 생성 하는 데, 혹은 회로" 보오드' 의 상단 층 에 수동층 (passivation layer) 으로 사용 할 수 있다. TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655DD (TOKYO ELECTRON Unity IIe 655DD) 는 또한 고급 프로세스 모니터링 시스템으로, 웨이퍼에 패턴이 균일하게 에칭되도록 도와줍니다. 이 시스템은 또한 에치 프로세스 (etch process) 의 온도에 대한 피드백을 제공하여 재료가 균등하고 올바르게 에칭되고 에치에 오류가 발생하지 않도록 합니다. 게다가, "에처 '의 안전 기능 에는 소음 을 줄이고 사고 를 방지 하기 위한 보호 안전 문 이 들어 있다. 에처 (etcher) 는 또한 다양한 센서와 경보를 가지고 있는데, 이는 직원들에게 그 과정에서 사고가 발생할 가능성이 높은 문제를 경고하는 데 도움이됩니다. 유니티 IIe 655DD (Unity IIe 655DD) 는 신뢰성 있고, 정확하며, 효율성이 높은 생산 에처/에이저로 공정 변형을 최소화하면서 고품질 전자 장치를 생산할 수 있습니다. 고급 기능은 에찬트 (etchant) 또는 애셔 (asher) 프로세스가 최소한의 오류나 합병증으로 발생하도록 도와줍니다.