판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #9078020

TEL / TOKYO ELECTRON Unity II
ID: 9078020
빈티지: 2000
Etcher, damascene, Cu, 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity II는 반도체 처리 및 리소그래피 등 다양한 산업에서 사용되는 고급 다기능 에처/애셔입니다. TEL 유니티 II (Unity II) 는 다양한 프로세스를 단일 장비 플랫폼에 통합하여, 운영 및 유지 보수 비용을 최소화하면서 안정적인 프로세스 균일성과 반복성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Unity II는 독점적 인 DMST (Dual Mode Sweep Technology) 를 특징으로하여 플라즈마 에칭, 가스 위상 에칭 및 대기 가스 청소를 동시에 수행 할 수 있습니다. 이러한 독보적인 기능을 통해 저렴한 비용으로 최첨단 프로세싱의 균일성을 실현할 수 있습니다. 또한, 유니티 II (Unity II) 는 다양한 마스크와 기판을 높은 에칭 속도와 뛰어난 선택성으로 처리 할 수있는 매우 고급 에칭 기능을 자랑합니다. 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 을 사용하면 압력, 온도, 플라즈마 조건 등 모든 프로세스 매개변수에서 적합성을 보장 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Unity II는 여러 가지 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 웨이퍼 증착 또는 에칭 성능의 불규칙성을 감지 할 수있는 완전 통합 웨이퍼 모니터링 시스템 (wafer monitoring system) 이 포함됩니다. 또한 이 시스템은 심각한 장애가 발생할 경우 자동화된 긴급 종료 (Emergency Shown) 기능을 사용하여 백업됩니다. 과압 방출 장치 (over-pressure release device) 는 장비가 안전하지 않은 고에너지 플라스마에 노출되는 것을 방지하면서 최적의 안전성과 성능을 보장합니다. TEL Unity II는 매우 효율적이고 사용자 친화적이며, 경험이 부족한 사용자조차도 쉽게 정교한 에칭 프로세스를 수행할 수 있습니다. 종합적인 제어 인터페이스 (control interface) 는 이해하기 쉽고, 모든 프로세스 매개변수를 세밀하면서도 효율적으로 제어할 수 있습니다. 또한, TOKYO ELECTRON Unity II는 기울기 각도 조정 및 선택적 오버레이 에칭 (overlay etching) 과 같은 여러 가지 고급 기능을 가지고 있으므로 특정 요구 사항에 따라 에칭 프로세스를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 유니티 II (Unity II) 는 고급 에칭 기능과 다양한 안전 (safety) 기능을 단일 통합 플랫폼에 통합함으로써 탁월한 안정성을 제공할 수 있습니다. 게다가, 상대적 인 경제성 은 많은 사람 들 에게 이상적 인 선택 이 될 것 이며, 돈 을 위한 훌륭 한 가치 를 제공 할 것 이다. 고급 기능과 안정적인 성능을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON Unity II는 다양한 산업 프로세스에 이상적인 etcher/asher입니다.
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