판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #9078017

TEL / TOKYO ELECTRON Unity II
ID: 9078017
Oxide etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity II는 다양한 마이크로 일렉트로닉스 및 나노 일렉트로닉스 응용 분야에 사용되는 에처 및 애셔입니다. 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 와 기질에서 탄소 및 탄소 산화물을 제거하도록 설계된 저압 배치 에처 및 애셔 (asher) 장비입니다. 이 제품은 강력한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능을 갖추고 있으며, 에치 (etch) 및 애쉬 속도 및 제품 품질을 정확하게 제어해야 하는 다양한 복잡한 프로세스를 실행할 수 있습니다. TEL Unity II는 4 개의 독립적 인 에치 및 재 레시피 설정을 갖추고 있습니다. 이러한 설정을 사용하여 온도, 흐름 속도, 압력, 농도 등 다양한 etch 및 ash 조건을 제어할 수 있습니다. 또한 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 매개변수를 실시간으로 감지하기위한 최첨단 프로세스 모니터링 및 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 기능을 사용하면 실시간으로 에칭 (etching )/애싱 (ashing) 성능을 모니터링할 수 있으며 프로세스를 최적화하기 위해 필요한 변경 사항을 신속하게 수행할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Unity II는 에치 및 애쉬 기판에 고급 화학 용액을 사용합니다. 정확하고, 정확하며, 반복 가능한 프로세스에 대해 검증된 고정밀 에칭 및 애싱 기술을 제공합니다. 결과적으로, Unity II는 뛰어난 공정 제어 기능과 더 빠른 생산 시간을 가진 고정밀 에칭 및 애싱 (eching and ashing) 이 필요한 마이크로 일렉트로닉스 및 나노 일렉트로닉스 어플리케이션에 적합한 선택입니다. 또한, 매우 큰 기판을 처리하도록 단위를 확장 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Unity II는 안전 및 사용자 경험을 염두에두고 제작되었습니다. 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스는 독립 안전 컨트롤러 (safety controller) 가 감독하므로 항상 기계의 안전한 작동이 가능합니다. 또한, 이 도구에는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 있어 자산 성능을 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 TEL Unity II는 다양한 마이크로 일렉트로닉스 및 나노 일렉트로닉스 어플리케이션을위한 훌륭한 에처 및 애셔 장비입니다. 이 제품은 정밀 프로세스 제어, 신속한 운영 시간, 안전한 작동을 통해 탁월한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능을 제공합니다.
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