판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 85DI #293829317

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 85DI는 플라즈마, 습식 화학 및 저항 에칭 공정의 정확한 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 에칭 장비입니다. 고급 솔리드 스테이트 (solid-state) 전원 공급 장치를 통해 사용자는 불필요한 유지 관리를 제거하면서 프로세스 매개변수를 정확하게 설정할 수 있습니다. 이 다목적 시스템은 인쇄 회로 기판 및 반도체 웨이퍼를 포함하여 직경 75 ~ 450mm 범위의 기판을 처리 할 수 있습니다. 다용도 기판 홀더는 표준 기판 (standard substrate) 과 특수 기판 (specialized substrate) 을 모두 장착할 수 있으며, 특정 응용 프로그램에 다양한 선택적 홀더를 사용할 수 있습니다. 통일성 (uniformity) 과 균일 한 에칭 속도 (eching rate) 는 정교한 흐름 제어 기계의 통합에 의해 향상됩니다. 이 제어 도구를 사용하면 가장 발전된 에칭 프로세스의 온도, 압력, 식각 속도 (etch rate) 를 정확하고 효율적으로 제어할 수 있습니다. 또한, 에셋에는 에치 레이트 (etch rate) 의 균일성을 보장하기 위해 고급 타이밍 모델이 장착되어 있습니다. TEL 유니티 II 85DI (TEL Unity II 85DI) 에는 에칭 프로세스 전반에 걸쳐 기판을 정확하고 안전하게 보관하는 정밀 단일 우울증 장치 (Single Depression Unit) 가 제공되며, 전체 웨이퍼에 대해 균일 한 에칭 결과를 보장하는 고급 웨이퍼 모니터링 장비가 제공됩니다. 온도 조절 (temperature control), 비행 시간 제어 (time-of-flight control), 종합적인 사용자 인터페이스와 같은 새로운 기능은 시스템에 편리함과 사용자 친화성을 더합니다. 이 장치에는 사용자 안전과 에칭 도구 (etching tool) 를 모두 보장하기 위해 정교한 안전 기계가 포함되어 있습니다. 안전 도구 (Safety Tool) 에는 자산이 너무 높거나 에치 속도가 너무 느릴 때 울리는 일련의 경보 (alarm) 가 포함되어 있습니다. 더우기, "웨이퍼 '와 기판 의 통일성 과 적절 한 청소 를 보장 하기 위하여, 이" 모델' 은 정밀 한 석영 "노즐 '과 스크러빙 브러쉬' 를 갖추고 있다. TOKYO ELECTRON Unity II 85DI는 고급 에치 처리 기능을 제공하며 다양한 에칭 프로세스에 적합합니다. 정교한 흐름 제어 장비, 고급 타이밍 시스템 (Timing System) 및 안전 장치 (Safety Unit) 가 결합하여 반복 가능하고 정확한 에칭 결과를 얻기 위해 신뢰할 수있는 기계입니다.