판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 85DD #188831

TEL/TOKYO ELECTRON Unity II 85DD는 반도체 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼를 청소, 텍스처링 및 에칭하도록 설계된 asher/etcher 장비입니다. 이 시스템은 클리닝, 에칭 (etching) 과 같은 응용 프로그램뿐만 아니라 마이크로 머신 (micromachining) 응용 프로그램에도 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. TEL Unity II 85DD를 사용하면 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 또는 강력한 명령 언어를 사용하여 프로세스를 프로그래밍할 수 있습니다. 이 장치에는 8.5 인치 풀 컬러 SVGA 터치 스크린을 통해 쉽게 작동 및 프로그래밍할 수 있습니다. 이 장치에는 기본 장치에 연결된 4 개의 독립적 인 프로세스 챔버가 있으며, 효율적인 멀티 챔버 웨이퍼 처리가 가능합니다. 챔버의 작동 온도는 최대 400 ° C이며 건조하고 젖은 공정을 위해 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON UNITY II 85 DD는 플라즈마 에칭, 금속 산화물/수소 에칭, 폴리머 에칭 및 저항 필름을 포함한 광범위한 프로세스 기능을 제공합니다. 이 기계는 또한 화학 폐기물을 최소화하기 위해 저류 자동 가스 스위칭 (low-flow automatic gas switching) 을 갖춘 통합 가스 처리 기능을 갖추고 있습니다. UNITY II 85 DD는 6 축 정확도와 제어를 통해 정확한 프로세스 제어를 제공합니다. 사용자는 실시간으로 레시피를 프로그래밍하고 모니터링할 수 있으며, 이를 통해 중간에 프로세스를 신속하게 수정할 수 있습니다. 결과를 쉽게 해석할 수 있도록 공구 데이터를 디지털로 내보낼 수 있으며, TEL UNITY II 85 DD (TEL UNITY II 85 DD) 는 자동 조정 기능을 통해 최대 처리량 및 반복 결과를 위한 설정을 최적화합니다. 이 장치는 표준 구성 외에도 다양한 액세서리 (accessory) 와 통합 기술 (integrated technologies) 을 장착할 수 있습니다. Unity II 85DD는 브러쉬, 자석, 핀셋 및 노즐 매니 폴드를 포함한 다양한 최종 이펙터와 호환됩니다. 자동 웨이퍼 처리, 자동 가스 처리 및 자동 압력 제어 (Automated Pressure Control) 와 같은 통합 옵션은 프로세스를 간소화합니다. 요약하면, TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 85 DD는 다양한 응용 프로그램에 강력하고 사용하기 쉬운 에칭 및 청소 자산을 제공합니다. 정밀 사양, 통합 (integrated motorized) 단계 및 직관적인 그래픽 인터페이스 (graphical interface) 를 통해 사용자는 프로세스 시퀀스를 빠르고 쉽게 프로그래밍하고 실행할 수 있습니다. 자동화된 처리 옵션 (automated handling options) 과 고급 프로세스 (advanced process) 기능을 갖춘 이 장치는 모든 규모의 fabricator에 이상적인 솔루션입니다.