판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 855SS #9179093

TEL/TOKYO ELECTRON Unity II 855SS는 가장 까다로운 산업 응용 분야를 위해 설계된 차세대 에처/애쉬러입니다. 이 장비는 미세 라인 기능 및 반도체 제품에 대한 안정적이고 효율적인 에칭/애셔링 프로세스입니다. 사용자 친화적 인 프로그램과의 직관적인 휴먼 인터페이스 (human interface) 와 에칭/애셔링 프로세스를 정확하게 제어할 수 있는 최적화된 컬러 모니터 (color monitor) 를 갖추고 있습니다. 이 공정은 0.25 미크론 정도의 작은 구성 요소에서 효과적으로 작동 할 수 있으며, 최대 150mm 웨이퍼를 에칭/애셔링 할 수 있습니다. 효과적인 열 처리를 위해 대용량 500m3/초 드라이 에어 어닐링 시스템 (dry-air annealing system) 과 모든 기능을 갖춘 자동 응답 웨이퍼 전송 장치를 갖추고 있습니다. 기계의 저전압 에칭/애셔링 (eching/ashering) 은 소재 손실이 최소화 된 고품질 에칭/애셔 패턴을 생성하며, 에찬/애셔 및 정권을 빠르게 전환하여 생산성을 향상시킵니다. 이 도구에는 정확한 장애 확인 (fault determination) 을 위한 고급 진단 프로그램 (advanced diagnostics program) 과 웨이퍼 리콜 (wafer recall) 을 위한 마스터 파일 (master file) 이 포함되어 있어 생산이 빠르고 효율적으로 재개될 수 있습니다. 이 장치는 또한 높은 정확도의 E-Gun 및 B-Gun 제어 기능과 더 빠른 프로세스 주기를 위해 빔 전달 컨트롤을 제공합니다. 전반적으로 TEL Unity II 855SS는 안정적이고 효율적인 에칭/애셔링 자산으로, 고품질의 세밀선 기능과 반도체 제품을 효과적으로 생산할 수 있습니다.