판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 855PI #9033653

TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 855PI
ID: 9033653
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Oxide etcher, 8" (2) Chambers 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 855PI는 처리량이 많은 프로세스 기술을 위해 설계된 고급 에칭/애셔 장비입니다. 정밀 에칭/비대칭 에칭 기술 (eching/asymmetrical etching technology) 을 제공하여 사용자는 수율을 희생시키지 않고 높은 정확도로 복잡한 패턴을 에칭할 수 있습니다. 이 시스템은 고밀도 및 고해상도 장치를 생산할 수있는 고정밀 마이크로 일렉트로닉스 드라이 에치 (dry-etch) 공정을 갖추고 있습니다. 에칭/비동기식 에칭 프로세스 (etching/asynchronous etching process) 를 뛰어난 성능으로 정확하게 정의하고 실행할 수 있는 포괄적인 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치에는 고정밀 제어 메커니즘, 통합 ALCT (Real-Time Active Learning Technology) 가 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 에칭 (etching) 의 정확도와 처리 시간의 속도를 최적화할 수 있으므로 에칭/애셔 (etching/asher) 의 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 기계는 또한 전통적인 에칭 방법보다 훨씬 작은 라인 너비에서 정확한 에칭/애셔 (etching/asher) 를 할 수 있습니다. 이것은 이중 챔버 (dual chamber) 구성을 사용하여 달성되며, 여기서 첫 번째 챔버는 공정 개발에 전념하고 두 번째 챔버는 에칭/애셔 (etching/asher) 용으로 예약됩니다. 이 기능을 사용하면 수율을 희생시키지 않고 정확한 기능을 불러올 수 있습니다. 이 도구는 또한 높은 정확도 (high-accuracy) 와 높은 반복성 (high-repetitiveness) 프로세스를 갖추고 매우 작고 정확한 피쳐 크기로 다양한 모양을 만들 수 있습니다. 에셋은 또한 매우 균일 한 표면을 가진 장치를 생산할 수 있습니다. TEL Unity II 855PI Etching/Asher는 혁신적인 에칭/애셔 기술과 사용하기 쉬운 제어 및 모니터링 모델을 결합합니다. LCD 패널 에칭, 반도체 마이크로 일렉트로닉스, 포토 마스크 에칭 등 다양한 응용 프로그램이 있습니다. 이 장비는 현대 전자 산업에 대한 정밀 에칭/애셔 (etching/asher) 요구 사항을 달성하기 위한 안정적이고 경제적인 솔루션을 제공합니다.
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