판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 850DI #9092958

TEL/TOKYO ELECTRON Unity II 850DI는 중간 규모 프로세스를 위해 설계된 안정적이고 고성능 에처/애셔입니다. 탁월한 에칭 및 애싱 기능, 높은 처리량 및 반복 가능한 프로세스 결과를 제공합니다. TEL Unity II 850DI는 최대 1000W 플라즈마 소스 전원에서 작동 할 수있는 유도 결합 플라즈마 (ICP) 에처/어셔입니다. "플라즈마 '의 고출력 을 효율적 으로 전달 하여 강력 하고, 효율적 인" 에칭' 과 "애싱 '을 가능 케 하는 독특 한 8 면체 전극 원자로 로 만들어졌다. 이 장비는 또한 고정밀 웨이퍼/가스 정렬기 (high precision wafer/gas aligner) 와 낮은 마찰 동작 계수 (low coefficient of fiction motion system) 를 특징으로하며 패턴화의 균일성을 극대화하고 머시닝 정확도를 향상시킵니다. 이 장치에는 외부 압력 제어와 함께 가스 흐름 속도 (gas flow rate) 를 자동으로 조정하는 고유 한 ET 제어 알고리즘이 장착되어 있습니다. 제어 알고리즘은 프로세스 조건을 균일하게 유지하면서 가스 흐름 및 압력 변형을 자동으로 보상할 수 있으며, 라인 에지 거칠기 (line edge roughness) 및 더 큰 프로세스 반복성을 최소화합니다. 이 기계에는 실시간 가스 압력 및 흐름 측정을 제공하는 가스 전달 라인 모니터 (gas delivery line monitor) 도 포함되어 있습니다. 이 도구는 또한 고정밀 부품 프로세스 (high-precision part process) 를 사용할 수 있으며, 온도 균일성과 반복 성을 향상시키기 위해 독립적 인 챔버 난방 기능을 갖추고 있습니다. 신뢰할 수있는 SE/BE/Z-Corona 소스에 대한 가변 코로나 컨트롤뿐만 아니라 AR/VF 세부 사항이 내장되어 있습니다. 인시트 (in-situ) 진단은 웨이퍼 처리 일관성을 보장하며, 적응형 반응성 가스 모니터는 프로세스 조건에 따라 자동으로 조정됩니다. TOKYO ELECTRON Unity II 850DI는 또한 뛰어난 성능과 이산화황을 사용합니다. 고급 웨이퍼 처리 기능 (예: 내부 웨이퍼 피니언 및 고정밀도 웨이퍼 정렬을위한 플라즈마 가이더, 워밍업 시간 없이 높은 신뢰성 웨이퍼 테이블) 을 제공합니다. 이 자산은 현대 조절 표준을 충족하고 미립자 및 이산화황 배출을 제한합니다. Unity II 850DI는 고급 에칭 및 애싱 프로세스에 이상적인 선택으로, 반복성, 신뢰성 및 뛰어난 프로세스 기능을 제공합니다. 높은 처리량, 고효율 작동, 매우 낮은 이산화황 배출 및 인사이트 (in-situ) 진단을 통해 모든 고객 기대를 포괄적으로 충족할 수 있도록 설계되었습니다.