판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IeM #9128639

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IeM은 매우 정확하고 신뢰할 수있는 에칭 및 애싱 솔루션을 제공하기 위해 설계된 차세대 에처/애셔입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다양한 프로세스 창, 개선 된 프로세스 균일 성, 장비 구성 요소와의 더 나은 통합을 위해 고급 에칭 기술로 설계되었습니다. 에치 스텝 균일성 향상, 처리량 향상, 수동화 성능 향상을 위한 독특한 풀 스펙트럼 에치 (full spectral etch) 프로세스 제어가 특징입니다. 또한 레시피 개발을 위해 사용하기 쉬운 제어 장비와 일관되고 반복 가능한 결과를 보장하는 AMM (Advanced Mechantronics Module) 이 포함되어 있습니다. TEL Unity IeM은 고급 패키징, MEMS, 웨이퍼 레벨 패키징 등 다양한 에칭 및 애싱 어플리케이션에 적합합니다. 고급 설계는 생산성 향상과 시스템 균일성 향상을 통해 안정적인 성능을 제공합니다. 그것 은 고성능 "라이트 '원소 를 사용 하여 넓은 영역 에 균일 한 조명 을 만들어 효율적 인" 에치' 결과 를 낸다. 혁신적인 MHES (Multi-Head Etching Unit) 는 단일 머신에서 동시에 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 위해 설계되었으며, 향상된 성능과 유연성을 갖춘 더 작고 빠른 도구를 제공합니다. TOKYO ELECTRON Unity IeM에는 탁월한 에치 스텝 균일성 및 프로세스 제어를 위해 특허를받은 진공 챔버 디자인이 포함되어 있습니다. 에셋에는 샘플 조각을 효율적으로 처리하기위한 고급 기계식 캐치 릴리스 (catch-release) 모델도 포함되어 있습니다. 또한 다른 장비 구성 요소와의 손쉬운 설치 및 통합을 위해 설계되었습니다. 이 장비에는 정확한 결과를 보장하기위한 레시피 개발용 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 마지막으로, etcher/asher 시스템에는 긴급 차단 장치, 내장 경고 표시등 및 경보를 포함한 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 전반적으로 Unity IeM은 매우 정확하고 신뢰할 수있는 에칭 및 애싱 솔루션을 제공하도록 설계된 차세대 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 고급 에칭 및 애싱 기술, 사용하기 쉬운 제어 시스템, 다양한 안전 기능으로, 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 기계는 고급 패키징 (advanced packaging), MEMS (MEMS), 웨이퍼 레벨 패키징 (wafer level packaging) 등 다양한 고급 기술을 에칭 및 애시하는 데 적합합니다.