판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IeM #293807031
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ID: 293807031
Oxide etcher
AC Rack type: ECC V1
TMP / Robot: 007 / 008 (VS2E)
FT-1200W Pump.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IEM (Dry Strip Etch machinery) 은 최신 드라이 필름 에칭 기술입니다. TEL Unity IEM은 실리콘 및 기타 반도체 재료, 금속, 절연체 및 유기 재료를 포함한 다양한 기판에서 고정밀 에칭이 가능합니다. 또한 표면 청소, 산화물 제거, 도핑과 같은 에치 후 프로세스에도 적합합니다. TOKYO ELECTRON Unity IEM (TOKYO ELECTRON Unity IEM) 은 3 개의 독립적 인 프로세스 챔버를 갖춘 견고한 설계를 갖추고 있으며 직경이 최대 500mm 인 프로세스 작업을 함께 처리 할 수 있습니다. 에칭이 매우 정밀하며, 공기 히터 (air heater), 강제 냉각 (forced-air cooling) 및 통합 공정 제어 장비의 조합으로 보장됩니다. 공기 히터 (air heater) 는 세트 프로세스 레시피를 정확하게 복제하여 최종 제품이 균일하게 에칭되도록 허용합니다. 강제공기냉각시스템 (강제냉각시스템) 이 기판을 빠르게 냉각시키며, 원치않은 열 팽창을 피하고 제품 성능을 향상시킨다. 프로세스 제어 장치 (process control unit) 는 또한 정확한 에칭을 허용합니다. 즉, 계속해서 조건을 모니터링하면 연산자가 필요에 따라 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. 유니티 IEM (Unity IEM) 은 안전하고 효율적인 소모성 기술을 사용하는데, 여기서 에치 재료는 각 기판에 적합한 양으로 출시됩니다. 그것 은 또한 신빙성 있는 대피 를 특징 으로 하여, "에터 '에 의해 생성 되는 자기장 이 기판 에 닿지 않게 하여, 손상 이나 오염 을 방지 한다. 또한, TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IEM에는 레시피 단계에 대한 자세한 설명을 제공하는 데 사용될 수있는 직관적 인 GUI가 있습니다. 따라서 운영자는 프로세스 중 변경 사항을 이해하도록 도와줍니다. 또한 TEL Unity IEM (TEL Unity IEM) 은 사용자 친화적으로 설계되어 별도의 제어기 없이 시간, 압력, 강도 등 에치 레시피 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한 에치 (etch) 프로세스를 완벽하게 사용자 정의할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 특정 요구에 맞게 프로세스를 조정할 수 있습니다. 요약하면, TOKYO ELECTRON UNITY IEM (TOKYO ELECTRON Unity IEM) 은 강력한 건식 필름 에칭 툴로, 다양한 기판에서 정확한 에칭을 가능하게 하여 제품을 효율적으로 사용자 정의할 수 있도록 설계되었습니다. 이 제품은 공기 가열, 강제 공기 냉각, 통합 프로세스 제어 기술로 인해 탁월한 성능을 제공하는 반면, 소모성 (Consumable) 기술과 안정적인 대피를 통해 효율적이고 안전한 운영을 유지할 수 있습니다. 또한, 사용자에게 친숙한 GUI 는 오류가 발생하지 않으며 별도의 제어 자산 없이 에치 레시피 (etch recipe) 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다. 유니티 IEM (Unity IEM) 을 통해 기업은 고유한 매개변수와 요구 사항에 적합한 신뢰할 수있는 드라이 필름 에칭 솔루션을 가질 수 있습니다.
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