판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9366422

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP는 반도체 웨이퍼 제조에 사용되는 신뢰성이 높은 자동 etcher/asher 장비입니다. 자외선 광원 시스템, 포토 저항 측정 시스템, 컨베이어 시스템 (Conveyor System) 을 사용하여 웨이퍼에 패턴을 에치, 침착 및 스트립합니다. 결과적으로 제품 수율과 품질이 향상됩니다. TEL Unity EP 시스템은 최대 용량이 200mm 웨이퍼 인 E-beam 에칭 챔버와 최대 용량이 300mm 웨이퍼 인 플라즈마 애셔를 갖추고 있습니다. GaN, Ga As 및 SiC를 포함한 다양한 재료를 에칭하고 ash하는 데 적합합니다. 이 장치에는 웨이퍼의 저항성 및 노출 된 영역을 측정하기위한 PAR (Photo/Acid/Resist) APx 측정 기계도 있습니다. 이 도구는 모듈식 (modular) 입니다. 즉, 컴포넌트를 쉽게 교체하여 유연성을 높일 수 있습니다. 구성 요소에는 자외선 광원, 마스크 정렬기, 포토 esist 전달 자산, UV 치료 모델, 컨베이어 장비, 에지 비드 제거 시스템, 레이저 마이크, 적외선 스캐너 및 웨이퍼 냉각 장치가 포함됩니다. 모든 구성 요소는 에칭, 애싱 및 데이터 수집 프로세스를 최적화하기 위해 프로그래밍됩니다. 이를 통해 제품 생산량과 품질이 향상됩니다. TOKYO ELECTRON UNITY-EP에는 TEL "RETM (Real-Time Etch Monitoring)" 기술이 장착되어 있어 사용자가 실시간으로 에칭 진행률을 모니터링할 수 있습니다. 따라서 신속하게 조정하여 결함을 줄이고 제품 품질을 향상시킬 수 있습니다 (영문). 또한 원격 프로세스 모니터링 (Remote Process Monitoring) 및 로깅 시스템 (Logging Machine) 기능을 통해 Etching 프로세스 및 결과를 기록하고 모니터링할 수 있습니다. 통합 플랫폼은 etcher, plasmas asher 및 post-ash 프로세스 장비를 단일 플랫폼으로 결합하여 높은 수준의 유연성과 비용 효율성을 제공합니다. 통합 아키텍처 (Integrated Architecture) 를 사용하면 처리 속도가 빠르고 유지 보수가 적어 반도체 웨이퍼 (Wafer) 제조 작업에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.