판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9237259

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP는 태양 광 세포 응용을 위해 설계된 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 텔 (TEL) 과 도쿄 전자 (TOKYO ELECTRON) 간의 협력 노력이며, 각각 해당 분야에서 고유한 전문 지식을 제공합니다. 태양 광 세포 효율성 및 수율을 향상시키기 위해 안정적이고 균일 한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. TEL Unity EP는 2 챔버, 고급 디자인을 통합했으며 얇고 두꺼운 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 의 균일 에칭 및 재싱에 최적화 된 새로 개발 된 웨이퍼 보트 구조를 중심으로 제작되었습니다. 이 장치는 플라즈마 에너지 (plasma energy) 의 차이를 줄인 독특한 플라즈마 전달 머신 (plasma delivery machine) 을 사용하여 최적의 웨이퍼 균일성과 재생성을 위해 설계되었습니다. 이 도구는 진정한 2 피스 웨이퍼 보트 디자인을 사용하여 웨이퍼 로트 (wafer lot) 의 상단과 하단 사이의 에칭 균일성을 크게 향상시킵니다. 또한, 고급 웨이퍼 보트 디자인 (advanced wafer boat design) 은 재생 배기 에셋과 함께 작동하여 모든 플라즈마가 균일 한 온도에 있으므로 일관된 프로세스가 가능합니다. TOKYO ELECTRON UNITY-EP는 또한 사용 가능한 가장 높은 플라즈마 전력 밀도를 제공하여 태양 광 세포의 우수한 에칭을 보장합니다. 향상된 에칭 균일성 기능으로 TOKYO ELECTRON Unity EP는 업계 표준에 비해 에칭 균일성이 최대 6 배 향상되었습니다. 또한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 위한 광범위한 프로세스 레시피를 제공하여 사용자에게 프로세스 사용자 정의 유연성을 제공합니다. Unity EP에는 웨이퍼 손실 카운터 모델 (wafer loss counter model), 플라즈마 자동 조정 제어 (auto-tune plasma control), 원격 진단 (remote diagnostics) 과 같은 고급 기능도 제공됩니다. 이러한 기능은 실시간 웨이퍼 온도 판독과 같은 훌륭한 기능과 결합하여 TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP를 태양 광 세포 처리 응용 분야에 이상적인 선택으로 만듭니다. TEL UNITY-EP는 포괄적 인 태양 광 세포 처리 도구입니다. '고급 에칭 (etching)' 및 '애싱 (ashing)' 기능은 신뢰할 수 있는 프로세스 레시피 및 고급 기능과 결합하여 모든 태양광 전지 개발자 또는 연구자에게 탁월한 선택입니다. 또한, UNITY-EP는 개선 된 프로세스 효율성 및 수율을 제공하여 태양 광 세포 개발자가 세포의 최대 생산성을 달성 할 수 있습니다.