판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9236828

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP는 고급 에처/애셔입니다. TFT-LCD, OLED, IC 및 MEMS 제작과 같은 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 고급 프로세스 (advanced process) 에 대한 지원과 함께 탁월한 에칭 및 애싱 성능으로 유명합니다. TEL Unity EP는 멀티 스테이션 멀티 가스 에처/애셔입니다. 에치 속도, 균일성, 선택성, 측벽 프로파일 및 오염이없는 표면에 대한 정확한 프로세스 제어를 제공 할 수 있습니다. 자동화된 충전 보상 시스템 (Automated Charge Compensation System) 은 기판의 질량이나 계층에 관계없이 일관된 프로세스 결과를 보장합니다. 또한 고급 가스 전달 (Advanced Gas Delivery) 및 대량 흐름 제어 시스템 (Mass Flow Control System) 이 장착되어 기존 에처보다 최대 10 배 빠른 에치 레이트를 지원합니다. 또한, 다중 에치 소스 및 다중 가스로 복잡한 프로세스를 지원할 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON UNITY-EP는 유지 보수 및 통합을 단순화하고 가속화하는 모듈식 설계를 제공합니다. 즉, 재 (asher) 를 설치하고 유지하는 데 필요한 부품과 구성 요소가 줄어듭니다. 또한 향상된 모니터링 시스템을 제공하여 생산성 및 프로세스 안정성을 높입니다. 프로세스 제어 시스템 (Process Control System) 에는 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 있어 프로세스 설정 및 레시피 개발을 단순화할 수 있습니다. 유니티 EP (Unity EP) 는 최신 프로세스에 대한 고급 에칭 및 애싱 (ashing) 전문 기술과 지원으로 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 고급 프로세스 안정성 및 제어 기능을 통해 대량생산을 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 게다가, 에너지 효율이 높아, 환경 친화적 인 제조업체에게는 좋은 선택입니다.