판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9188580

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP는 고급 고성능 전자 빔 에처/애셔입니다. 고출력 처리 (high-throughput processing) 와 저에너지 에칭 (ech-energy etching) 의 독특한 조합을 사용하여 다양한 재료에 매우 정확한 패턴을 만듭니다. TEL 유니티 EP (TEL Unity EP) 는 폐쇄 루프 전자 빔 스캐닝 장비와 다양한 패턴 생성 기술을 사용하여 다양한 기판에 미세 한 표면 특징을 만듭니다. 고정밀도를 보장하기 위해 TOKYO ELECTRON UNITY-EP에는 매우 정밀한 빔 위치 제어 시스템 (beam position control system) 과 고급 고속 빔 디플렉션 제어 장치가 장착되어 있습니다. 폐쇄 루프 전자 빔 스캐닝 머신 (closed-loop electron beam scanning machine) 은 넓은 영역에 균일 한 에칭 패턴을 제공 할 수 있습니다. 머신은 또한 동일한 빔 위치 (beam position) 를 일치시켜 반복 가능성을 보장함으로써 다른 프로세스 피쳐를 정렬할 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP에는 강력한 반도체 패턴 발전기가 장착되어 있습니다. 이 패턴 생성기는 실리콘 기반 웨이퍼 (silicon-based wafer) 와 같은 재료에 정확한 기능을 에치하는 데 사용되는 매우 복잡한 패턴을 빠르게 만들 수 있습니다. 유니티 EP (Unity EP) 에 의해 만들어진 매우 상세한 패턴은 전통적인 "블랭킹 (blanking)" 방법으로 불가능한 고급 에칭 기술을 가능하게합니다. TEL UNITY-EP로 에칭하면 처리 온도가 매우 낮아 처리량이 높습니다. 이 저에너지 에칭 프로세스는 고온 그라디언트로 인한 고르지 않은 에칭 위험을 줄입니다. 이 에칭 효율성을 통해 기판의 핵심 특성을 유지하면서 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. 기계는 에치 샤프니스 (edge sharpness) 를 감지하고 에치된 피쳐의 각도 (angle) 와 종횡비 (aspect ratio) 를 제어할 수도 있습니다. TOKYO ELECTRON Unity EP에는 고해상도 비디오 시각화 도구와 정확한 빔 에너지 제어가 있습니다. 이 에셋은 패턴 생성의 정밀도를 향상시키고 모델을 전체 웨이퍼 (wafer) 전체에서 패턴과 올바르게 일치시킬 수 있도록 합니다. 전반적으로 UNITY-EP는 강력하고 매우 정밀한 전자 빔 에처/애셔 (echer/asher) 로, 매우 정밀한 패턴을 만드는 업계 표준으로 간주됩니다.