판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9180754

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP는 반도체 산업을위한 최첨단 에처/애셔입니다. 에치 레이트 (etch rate) 를 높이고, 균일 한 에칭 및 우수한 프로세스 재생성을 제공하는 고급 기능이있는 도구입니다. 전자빔 (electron beam) 과 이온 빔 (ion beam) 출력으로 이중 에너지 작동을 활용하여 재료를 정확하게 패턴화합니다. 결함이 최소화된 고수율 패턴을 생산하기위한 강력한 도구입니다. TEL Unity EP의 주요 기능은 가능한 방전 챔버 및 쌓인 구조 처리 시퀀스입니다. 그 방전 "챔버 '는 고효율 의 절연체 로 열개량 을 방지 하고, 고효율 의" 가스' 챔버 는 식각 이나 발작 과정 에 이상적 인 정확도 를 제공 한다. 이것은 2 단계 에칭 (또는 애싱) 을 가능하게하는 매우 정확한 3 차원 패턴으로 가능합니다. 도쿄 전자 UNITY-EP (TOKYO ELECTRON UNITY-EP) 는 또한 유통 유형 가스 공급 및 새로 설계된 주입 시스템을 갖춘 개선 된 가스 공급 장비를 제공합니다. 전자 는 더 균일 한 "가스 '전달 을 제공 하고, 후자 는 더 높은" 가스' 압력 을 제공 하여, 광범위 한 기판 에서 균일 한 가공 을 가능 하게 한다. Unity EP는 고급 성능 제어 소프트웨어인 MEP (Multi-Etch Plan) 의 사용도 지원합니다. 이를 통해 사용자는 장치의 etch 및 기판 온도, etch 속도, gas mix 설정을 쉽게 제어 할 수 있습니다. 추가 보너스로서, MEP는 데이터를 최대 20 일 동안 저장하는 데 사용될 수 있으며, 따라서 사용자는 에치 프로세스 이력 (etch process history) 을 기록하고 유지할 수 있습니다. TEL UNITY-EP에는 표준 장치 관리 장치도 있습니다. 이를 통해 디바이스의 원격 작업을 수행할 수 있으며, 디바이스별 하드웨어/소프트웨어 정보에 대한 정보도 제공합니다. 마지막으로, 포괄적인 유지 보수 시스템이 있습니다. 이 툴을 사용하면 운영자가 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스, 오류 기록 및 일상적인 유지 관리를 관리하고 모니터링할 수 있습니다. 결론적으로, UNITY-EP는 균일 한 에칭 및 뛰어난 프로세스 재생성을 제공하는 데 중점을 둔 고급 에처/애셔입니다. 고도의 고급 기능을 통해 재료의 정밀 패턴, 가스 공급 시스템 (gas supply system) 및 종합적인 유지 관리 자산이 가능합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 반도체 업계에서 없어서는 안 될 도구입니다.