판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9161272

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP (Electron Beam Particle Etcher/Asher) 는 금속, 세라믹 및 폴리머를 포함한 다양한 재료를 에치 할 수있는 매우 정확하고 다재다능한 장치입니다. TEL 유니티 EP (TEL Unity EP) 는 다른 에처가 맞추기 어려운 쉽고 품질로 에칭할 수 있습니다. 최대 2 미크론의 매우 정밀한 마이크로 머시닝 정확도로, TOKYO ELECTRON UNITY-EP는 뛰어난 반복성과 엄격한 내결함성으로 더 깊고 세밀한 기능을 제공합니다. Unity EP는 다른 에처와 비교할 때 여러 가지 뛰어난 이점을 제공합니다. 스캐닝 (Scanning) e-beam 기술로 전력 및 해상도가 더욱 향상되어 최소 크기 (Small Minimum Feature Size) 로 빠르게 에칭할 수 있습니다. 가변 입자 출력 및 편향 장비 제어는 또한 에칭 속도와 최적화를 최대화 할 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP의 닫힌 루프 열 제어는 웨이퍼 가열을 줄이고 더 일관된 결과를 생성하고 프로세스 반복성을 향상시키는 데 도움이됩니다. TOKYO ELECTRON Unity EP는 금속, 세라믹, 폴리머 및 다중 층 포토 마스크 등 다양한 재료를 에치 할 수있는 기능을 제공합니다. 이 다양성은 전자 공학에서 나노 기술 (nanotechnology) 에 이르기까지 광범위한 산업에서 귀중한 도구입니다. 또한, 고급 빔 스팟 포커싱 시스템은 온도 보상 및 챔버 압력 제어 (chamber pressure control) 와 결합 될 때 우수한 결과를 제공합니다. 유니티-EP (UNITY-EP) 에는 고정밀 에칭 기능 외에도 다양한 기능이 장착되어 있어 고급 프로세스 제어가 가능합니다. 예를 들어, 동시 프로세스 접근은 최대 4 개의 기판을 동시에 에칭 할 수있는 반면, 샘플 조작 장치는 빠른 웨이퍼 로딩 및 언로드를 위해 설계되었습니다. 또한 온다이 에칭 (on-the-fly etching) 및 다중 빔 (multiple beam) 과 같은 고급 에칭 기술에 정교한 소프트웨어 제어를 사용합니다. 마지막으로, 부품 유지 관리 기능에는 최적의 기판 성능을 위해 청소, 개편 및 스퍼터링이 포함됩니다. TEL UNITY-EP는 신뢰할 수 있고 다양한 etcher/asher로, 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 정밀도 및 반복성이 뛰어난 재료를 에칭하여 거의 완벽한 마이크로 머신 (micromachining) 결과를 얻을 수 있습니다. 단순하지만 강력한 제어 시스템 (control system) 과 동시 프로세스 접근 방식을 사용하여 에칭 속도를 최대화하고, 최적화할 수 있습니다. 이러한 기능을 고급 빔 스팟 포커싱 머신과 결합한 TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP는 최신 마이크로 머싱 및 에칭 응용 프로그램을위한 귀중한 도구를 만듭니다.