판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9144791

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP는 고성능 다기능 에처/애셔입니다. 이 제품은 안정적이고, 비용 효율적이며, 광범위한 프로세스 기능을 사용자에게 제공하도록 설계되었습니다. TEL Unity EP 장비의 기본 아키텍처는 가스 공급 제어 시스템 (Gas Supply Control System), 프로세스 모니터 (Process Monitor) 및 제어 콘솔 장치 (Control Console Unit) 를 포함한 여러 특수 소스 컨트롤러 박스 주위에 구축됩니다. 이 통합 아키텍처는 프로세스 최적화 (process optimization) 를 용이하게 하고 사용자 상호 작용을 최소화하며, 단위 성능도 우수합니다. 공정 능력 측면에서, TOKYO ELECTRON UNITY-EP etcher/asher는 다양한 에칭/건조 화학 물질에서 높은 에칭/건조 인자를 제공 할 수 있습니다. 섭씨 100 ~ 500 도의 온도와 최대 0.5 Pa의 입구 압력으로 Si, GaAs, INP 등 다양한 물질에서 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 다양한 가스 파이핑 모듈, 기계식 파이프 교환기, 원격 액세스 모듈 등 TEL UNITY-EP etcher/asher를 사용자 정의할 수 있는 다양한 옵션을 사용할 수 있습니다. 또한, 기계는 유연하게 제작되어 레이저 간섭계 (Laser Interferometer), 도어 잠금 도구 (Door-Lock Tool) 또는 자동 펄스 파일럿 호 (Auto-Pulse Pilot Arc) 와 같은 다양한 사용 가능한 옵션과 업그레이드를 통합 할 수 있습니다. 마지막으로 TEL/TOKYO UNITY-EP etcher/asher는 확장 된 안전 기능 (Safety Functions), 시작/음소거 기능 (Start/Mute Functions) 및 자동 펄스 아크 에셋 (auto-pulse arc asset) 과 같은 여러 설계 기능을 통해 높은 수준의 안전성과 안정적인 성능을 보장하도록 설계되었습니다. 이를 위해 국제 안전 규정 (International Safety Regulations) 및 표준을 준수하여 안전하고 효율적인 에칭/건조 프로세스를 제공합니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON/TOKYO UNITY EP etcher/asher는 높은 성능과 강력한 프로세스 기능이 필요한 까다로운 에칭/건조 어플리케이션을 위한 이상적인 선택입니다. 에너지 효율성 (energy efficient) 프레임, 신뢰성 있는 아키텍처, 직관적인 컨트롤 (controls) 을 결합하면 사용이 쉽고 효율성이 높은 제품을 통해 반도체 업계의 전문가들에게 이상적인 선택이 됩니다.