판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9084597

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP는 전자 제품 제조 용도로 설계된 고정밀 에칭/애싱 장비입니다. 100nm 제어 안정성을 갖춘 고정밀 에칭/애싱 (eching/ashing) 시스템을 갖추고 있으며 200nm에서 10mm 사이의 두께로 반도체 기판을 에칭/애싱 할 수 있습니다. TEL Unity EP에는 사용자 정의 종횡비 창을 설정할 수있는 CARW (Continually Adjustable Aspect Ratio Window) 가 있습니다. 이를 통해 특정 장치 형상의 정확한 에칭/해시가 가능합니다. 이 장치에는 또한 고해상도 레이저 기반 정렬 머신이 장착되어 있어 정확성과 신뢰성이 향상되었습니다. TOKYO ELECTRON UNITY-EP는 에칭/애싱 성능을 향상시키기 위해 고 진공 (< 25mbar) 을 사용합니다. 이것은 깨끗하고 효율적인 에칭/애싱 주기를 보장합니다. 이 도구에는 또한 고진공 (high-vacuum) 로드 잠금 (load-lock) 이 포함되어 있어 자산으로의 웨이퍼를 안전하게 전송할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP에는 고속 작동을 가능하게하는 정교한 모션 스테이지 컨트롤러 기능이 있습니다. 이 모델에는 고정밀 전기 기계 위치 장비가 장착되어 있습니다. 이를 통해 에칭 또는 재시 패턴의 정확한 배치가 보장됩니다. TOKYO ELECTRON Unity EP는 사전 프로그래밍되고 사용자 정의 가능한 에칭/애싱 프로세스를 제어하기위한 강력한 소프트웨어 제품군을 제공합니다. 여기에는 고급 프로세스 제어 기능이 포함됩니다. 이 소프트웨어에는 에칭 (etching )/애싱 (ashing) 프로세스 설정을 단순화하고 사용자에게 고급 모니터링 및 제어 기능을 제공하는 그래픽 사용자 인터페이스가 포함되어 있습니다. TEL UNITY-EP 는 매우 유연하며 다양한 제조 애플리케이션에 맞게 구성할 수 있습니다. 실리콘, 화합물 반도체, III-V 재료 등 다양한 기판을 에칭/재싱하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 단일 웨이퍼에서 여러 etch/ash 프로세스를 수행하는 데 사용할 수 있습니다. UNITY-EP (UNITY-EP) 는 신뢰할 수 있는 고성능 에칭/애싱 시스템으로, 중요한 전자 제품 제조 어플리케이션에 필요한 유연성과 정확성을 제공합니다.