판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9084596

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP는 혁신적인 디자인을 갖춘 고급 에처/애셔 (etcher/asher) 장비로, MEMS와 같은 고급 애싱 및 에칭 응용 프로그램을위한 완벽한 도구입니다. 다재다능하고 효율적이며, 다양한 요구에 맞는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. TEL Unity EP에는 풀 피처 에치 로봇 (etch-robot) 과 I 라인 소스가 장착되어 있어 고해상도 에칭 패턴과 미세하게 제어된 에칭 깊이를 만들 수 있습니다. 이 로봇은 패턴 (patterning) 기술을 사용하여 모든 종류의 복잡한 디자인을 정확하게 개요하고 추적 할 수 있습니다. I 라인 소스는 정확한 조리개 모양으로 설계되어 광학 정확도와 반복 성을 높입니다. TOKYO ELECTRON UNITY-EP는 또한 정확하고 신뢰할 수있는 재싱 프로세스를 제공합니다. 고급 프로세스 제어 시스템 (Advanced Process Control System) 은 장치의 온도, 압력 및 농도를 관리하여 뛰어난 발진 성능을 보장합니다. 또한, 인시 투 압력 컨트롤러 (insitu pressure controller) 를 사용하면 프로세스가 진행됨에 따라 압력을 조정하여 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. TEL UNITY-EP 는 또한 자동 클리닝 기능을 제공하여 더 빠른 속도로 주기를 반복할 수 있습니다. 이 기능은 청소 시간을 크게 단축시켜 etcher/asher 기계를 유지하는 것이 더 쉽습니다. 견고 하고 컴팩트한 "디자인 '은 또한 수송 하기 쉬우며, 그것 을 실험실 에서 실험실 로 옮길 수 있게 해 준다. 통일-EP (UNITY-EP) 는 에칭 및 애싱 프로세스를 최대한 활용하려는 사람들에게 완벽한 솔루션입니다. 첨단 설계와 기능을 통해 모든 기업에 적합한 선택으로, 정확도, 속도, 신뢰성을 필요로 합니다.