판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #133474

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP는 반도체 시장을 위해 설계된 최첨단 에처 또는 애셔입니다. TEL 단일화 EP (TEL Unity EP) 는 응용 프로그램에 관계없이 정확하고 반복 가능한 장치 형상을 보장합니다. TOKYO ELECTRON UNITY-EP (TOKYO ELECTRON UNITY-EP) 는 모듈식 설계 개념을 기반으로 하여 다양한 요구 사항을 충족하도록 조정할 수 있습니다. 이 시스템은 프로세스 챔버, 전원 공급 장치, 마이크로 프로세싱 센터 등 3 가지 주요 기능으로 구성됩니다. wafer processing, wet bench cleaning 및 etch-sensing 기능과 같은 추가 기능을 제공하는 3 개의 추가 모듈도 포함됩니다. TEL UNITY-EP의 공정 챔버는 고온 확장 계수를 가진 스테인레스 스틸로 구성됩니다. 이 챔버 (Chamber) 는 공격적인 처리 조건을 견딜 수 있도록 설계되었으며 유지 보수없이 최대 1 년 동안 계속 작동 할 수 있습니다. 탑재된 로드 잠금 장치 (Top-Mount Load Lock) 를 사용하면 고속 처리와 기판에 신속하게 액세스할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Unity EP에 사용되는 전원 공급 장치는 4 단계 DC 펄스 제어 시스템으로, 광범위한 프로세스 조건에서 정확하고 반복 가능한 에치 매개 변수를 생성 할 수 있습니다. 이는 정확한 형상과 정확한 밀도 제어를 보장합니다. UNITY-EP의 핵심에는 마이크로 프로세싱 센터 (micro-processing center) 가 있으며 최신 기술을 기반으로합니다. 이 마이크로 프로세싱 코어에는 정교한 로컬 및 글로벌 온도 제어, 고급 프로세스 모니터링 및 PD 탐지가 포함됩니다. 이 시스템에는 레시피 에디터 (recipe editor) 도 포함되어 있어 에치 레시피를 설정하고 자동화 할 수 있습니다. 세 개의 추가 Unity EP 모듈은 추가 처리 기능을 제공합니다. 웨이퍼 처리 모듈은 프로세스 처리량을 극대화하고 입자 오염을 제거하도록 설계되었습니다. 습식 벤치 클리닝 모듈은 깨끗하고 효율적인 방식으로 정확한 에칭을 보장합니다. 마지막으로, 에치 감지 모듈은 중요한 에치 매개변수를 정확하게 모니터링하고 감지합니다. 전반적으로 TEL의 TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP는 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 고급 에처 또는 애셔입니다. 공정 (well-oiled) 기계처럼 작동하며 프로세스 조건에 관계없이 정확하고 반복 가능한 형상 및 밀도 제어를 제공합니다. 이 장치는 강력한 하드웨어/소프트웨어 모듈 클러스터 (cluster of hardware and software module) 에 의해 더욱 지원되며, 이를 통해 사용자는 해당 장치의 요구 사항을 충족하도록 조정할 수 있습니다.