판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity DP #293807033

TEL/TOKYO ELECTRON Unity DP는 반도체 제조 공정을 위해 설계된 고급형 etcher/asher 장비입니다. 반도체 소자 제작에 사용되는 광범위한 소재를 정확하고 효율적으로 처리할 수 있는 최첨단 (State-of-the-art) 기술을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 반도체 장비를 선도하는 TEL Limited (TOKYO ELECTRON) 가 개발 한 Unity 시리즈 제품의 일부입니다. TEL Unity DP 장치의 주요 기능 중 하나는 etcher 및 asher로서의 이중 목적 기능입니다. 에칭 (Etching) 은 기판에서 재료를 선택적으로 제거하여 패턴 또는 구조를 만드는 데 사용되는 프로세스이며, 애쉬 (ashing) 는 기판 표면에서 유기 오염 물질과 잔기를 제거하는 프로세스입니다. 이 두 프로세스를 단일 도구로 결합하여 TOKYO ELECTRON Unity DP는 반도체 제조업체에 다양한 제조 요구에 대한 다재다능한 솔루션을 제공합니다. 유니티 DP 머신에는 고급 플라즈마 처리 기술 (Plasma Processing Technology) 이 장착되어 있어 높은 에치 속도, 탁월한 균일성, 프로세스 매개변수에 대한 정확한 제어가 가능합니다. 이 도구는 플루오린 기반 화학 물질 (fluorine-based chemistries) 과 같은 플라즈마 가스의 조합을 사용하여 기질 물질을 에치 또는 재로 만듭니다. "플라즈마 '는 진공실 에 생성 되어 기판 으로 향하게 되는데, 이" 플라즈마' 는 재료 표면 과 상호 작용 하여 원하는 "패턴 '에 따라 제거 혹은 수정 시킨다. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY DP 자산은 반도체 제조 공정을 간소화하기 위해 높은 수준의 자동화 및 생산성 향상을 제공합니다. 기판 처리를 위한 고급 로봇 (Advanced Robotics) 이 장착되어 있어 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이 모델에는 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 조건을 실시간으로 최적화하여 높은 반복성으로 원하는 결과를 얻을 수있는 지능형 공정 제어 알고리즘도 포함되어 있습니다. 공정 능력 측면에서 TEL Unity DP 장비는 실리콘, 이산화실리콘, 질화실리콘, 금속, 다양한 박막 등 반도체 제조에 일반적으로 사용되는 다양한 재료를 지원합니다. 이 시스템은 특정 재료 특성 및 공정 요구사항에 맞게 조정할 수 있는 다양한 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 레시피를 제공합니다. 사용자는 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 손쉽게 프로그래밍하고 수정할 수 있으며, 이를 통해 여러 구성 프로세스에 장치를 간편하게 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON UNITY DP 머신은 신뢰성과 가동 시간을 염두에 두고 설계되었으며, 견고한 부품과 고급 안전 기능을 통해 안정적이고 일관성 있는 성능을 보장합니다. 이 공구는 제조 과정에서 엄격한 테스트, 품질 관리 (Quality Control) 조치를 거쳐서 반도체 산업의 높은 표준을 충족시킵니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON 글로벌 서비스 네트워크 (Global Service Network) 를 통해 자산 가동 시간과 생산성을 극대화할 수 있는 적시에 지원 및 유지 보수 서비스를 제공합니다. 전반적으로 Unity DP 모델은 반도체 제조업체에 제작 요구에 대한 다용도 및 고성능 솔루션을 제공하는 최첨단 에처/애셔 (etcher/asher) 툴입니다. 고급 기술, 자동화 기능, 프로세스 유연성을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON Unity DP 장비는 생산 환경에서 반도체 장치의 정확하고 효율적인 패턴을 달성하는 데 필수적인 도구입니다.