판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 88DD #146068

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 88DD는 고급 반도체 처리를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 매우 큰 양극 크기의 광학 헤드 (Optical Head) 는 높은 종횡비 (Aspect Ratio) 기능의 효율적으로 에칭 및 애싱 프로세스에 적합합니다. 이 에처/애셔는 최소한의 접시, 측벽 거칠기 및 에치 손상으로 정확한 결과를 제공하는 2 단계 에칭 프로세스를 특징으로합니다. 이렇게 하면 높은 종횡비 (aspect ratio) 와 높은 종횡비 (aspect ratio) 선형성 (linearity) 뿐만 아니라 높은 지형이 가능하므로 수율이 향상됩니다. 또한 TEL Unity 88DD의 고해상도 광학 헤드 (optical head) 는 모든 에칭 및 애싱 어플리케이션에 뛰어난 해상도와 선명한 에지 정의를 제공합니다. 또한 TOKYO ELECTRON UNITY 88DD는 공정 유연성을 지원하고 모든 드라이 에치 응용 프로그램에 대한 향상된 선택성을 제공하는 고온 아르곤 플라즈마 소스입니다. 액티브 리프트 오프 (Active Lift-off) 기능은 지름 단위의 깊이에서 구조를 생성하여 프로세스 반복성, 균일성, 제어 능력을 높일 수 있습니다. 통합 88DD (Unity 88DD) 의 고급 시스템 관리에는 프로세스, 설정, 레시피 데이터를 표시하는 호스트 컴퓨터와 온도/압력 모니터링 시스템이 포함됩니다. 이를 통해 사용자는 여러 매개변수를 동시에 모니터링하고, 프로세스 정밀도를 보장하는 동시 매개변수를 볼 수 있습니다. 원격 운영자 인터페이스 (Remote Operator Interface) 는 모든 구성 요소에 대한 즉각적인 액세스를 제공하여 효과적인 프로세스 관리 및 문제 해결을 지원합니다. 마지막으로, TEL/TOKYO ELECTRON Unity 88DD는 장기적인 안정성과 신뢰성을 위해 설계되었으며, 수명 주기는 최대 100,000 개이며, 사용자는 최고의 안정성과 성능을 얻을 수 있습니다. TEL Unity 88DD는 고급 반도체 처리를 위해 최첨단 에치 및 애셔 어플리케이션을 위한 최적의 선택입니다.