판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DP #9083612

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DP는 반도체 제조에 사용하기 위해 TEL (TOKYO ELECTRON) 이 제공하는 최고의 에처/애셔입니다. 이 고급 도구는 실리콘, 쿼츠, 알루미늄, 금속 산화물 반도체 (MOS) 재료를 포함한 여러 재료의 웨이퍼 처리에 이상적인 다양한 강력한 기능을 제공합니다. TEL Unity 85DP는 최대 15 개의 포켓이있는 자동 웨이퍼 처리 장비를 갖춘 2 포켓 에처/애셔입니다. 이 도구는 2 개의 에치/애셔 사이클 각각에서 최대 8 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 고효율의 8 단계 다중 요소 커패시터 어레이를 장착하여 솔루션 흐름, 온도, 압력을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 공정 사양을 충족시키기 위해 다양한 재료를 신속하게 에칭할 수 있습니다 (영문). TOKYO ELECTRON UNity 85DP에는 자동 작동 및 유지 관리 기능을 제공하는 고급 제어 시스템이 있습니다. 효율적인 데이터 전송을 위해 GUI (Graphical User Interface) 와 병렬 및 직렬 통신 포트를 갖추고 있습니다. 또한 프로세스 코드와 추적 파일 형식 파일 (trace file format file) 을 저장할 수 있는 내장 메모리를 통해 데이터 로깅 및 추적 기능을 제공합니다. 통일성 85DP (Unity 85DP) 에는 유해 화학 물질 취급의 위험으로부터 운영자와 환경을 보호하는 다양한 안전 기능이 있습니다. 온도 안정화 장치, 잔류 세탁기, 입자 여과기, 재순환 도구, 자동 압력 방출 자산 등과 같은 내장 안전 기능이 특징입니다. 또한 Wafer 특성 및 결과에 대한 자세한 정보를 제공하는 운영 데이터 보고 (Production Data Reporting) 기능도 유용합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Unity 85DP는 보다 효율적이고 비용 효율적인 반도체 제조 공정을 위해 다양한 재료를 에칭 및 애쉬 (ashing) 하는 고급 성능을 제공합니다. 자동화된 운영 (Operation) 및 안전 (Safety) 기능을 통해 운영자는 마음의 평화와 품질과 신뢰성을 보장할 수 있습니다. TEL Unity 85DP (TEL Unity 85DP) 는 포괄적인 모니터링 및 데이터 로깅 기능을 통해 프로세스를 최적화하고 효율적으로 제어할 수 있는 툴을 제공합니다.