판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DI #9092959

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DI는 탁월한 정확성, 신뢰성 및 성능을 위해 설계된 전용 에칭/애싱 장비입니다. 특히 Semiconductor 및 MEMS 산업에서 photomask 제작을위한 고급 도구입니다. 사용자는 다양한 기능을 제공하여 에칭 (etched) 패턴의 폭, 깊이, 균일성을 정확하게 제어할 수 있습니다. TEL Unity 85DI는 VMT (Volume Manufacturing Technology) 를 사용하여 각 노출 및 에칭 단계를 정확하게 제어합니다. 여기에는 균일성을 극대화하고 미세 패턴을 정확하게 해결하는 것이 포함됩니다. SxV 마스크 정렬기, E-beam 작성기와 같은 다양한 노출 도구를 사용하여 photomask를 만들 수 있습니다. 이 장치는 한 단계에서 패턴을 얇은 저항 필름 기판 (thin resist film substrate) 으로 정확하게 전환하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON UNITY 85DI는 Plasma Sub-Ashers, Plasma Ashers 및 Wet Process Processor를 포함한 다양한 에칭 기술을 지원합니다. 예를 들어, Plasma Sub-Ashers는 고급 플라즈마 에칭 및 드라이 에칭, 드라이 애싱 및 드라이 스트리핑 기능을 제공합니다. 이러한 도구는 특히 MEMS 구성 (MEMS fabrication) 과 같은 응용 프로그램의 경우, 작은 접촉 패턴을 만드는 데 유용합니다. Unity 85DI는 또한 포괄적인 안전 및 환경 기능을 제공합니다. 여기에는 유체 여과 기계 및 화학 폐기물 처리 도구 (chemical waste disposal tool) 를 포함한 여러 화학 억제 시스템이 포함됩니다. 또한, 이 도구에는 웨이퍼 간의 교차 오염 위험을 줄이기 위해 GCC (Glove Contamination Control) 가 장착되어 있습니다. 또한, 이 자산은 사용자 친화적이고 효율적이도록 설계되었습니다. 직관적인 GUI와 함께 제공되며, 운영자에게 인라인 감지 및 프로세스 모니터링 기능도 제공합니다. 이를 통해 사용자는 전체 에칭 및 애싱 프로세스를 원격으로 관찰 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 다양한 하이엔드 자동화 옵션을 제공하여 운영 흐름을 관리하고 최적화합니다. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DI는 뛰어난 정확도, 신뢰성 및 성능으로 인해 photomask 제작 및 MEMS 제작에 이상적인 도구입니다. 또한 우수한 안전 (Safety) 기능과 운영 프로세스를 최적화하는 기능을 사용자에게 제공합니다. 전반적으로 TEL Unity 85DI는 모든 제작 연구소에 추가 될 수 있습니다.